판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 6M #293646046

ID: 293646046
Surface profiler.
VEECO/SLOAN DEKTAK 6M은 반도체 기판의 박막 층을 측정하기 위해 반도체 산업에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 "시스템 '은 금속, 산화물, 규소, 유전체 와 같은 물질 의 박막 층 을 정확 하고 정확 하게 측정 하는 데 사용 된다. 이 장치는 전동 단계, 전도성 웨이퍼 캐리어, 레이저 기반 경전도 기계 및 커패시턴스 기반 측정 도구로 구성됩니다. 동력 단계는 측정을위한 웨이퍼를 정확하게 배치하는 데 사용됩니다. "스테이지 '의 속도 는 여러 종류 의 기판 에 맞도록 조정 할 수 있는데, 이것 은" 반도체' 산업 의 여러 응용 에 이상적 이다. 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 는 측정을 위해 웨이퍼를 안전하게 고정시키는 데 사용되며, 레이저 기반 광 투영 자산은 박막 레이어를 정확하게 측정하는 데 사용됩니다. 광원 투영 모델은 레이저와 PSD (Position-Sensitive Detector) 배열로 구성되며, 거리, 모양 및 모서리 형상의 정확한 측정이 가능합니다. 이 장비에는 커패시턴스 미터 (capacitance meter) 도 포함되어 있으며 15 나노미터 정도의 작은 박막 층을 측정하는 데 사용됩니다. 커패시턴스 미터 (capacitance meter) 는 한 쌍의 전극 플레이트를 사용하여 테스트 중인 샘플의 박막 레이어 (thin-film layer) 너비의 차이로 인한 커패시턴스 변화를 감지합니다. 또한, 이 시스템에는 통합 소프트웨어 제품군이 장착되어 있으며, 측정 결과에 대한 실시간 그래프, 보고, 데이터 분석이 가능합니다. VEECO DEKTAK 6M은 가혹한 상태를 견딜 수 있도록 설계되었으며, 고압, 고온 환경에서도 정확한 측정 결과를 제공합니다. 또한, 이 장치는 단일 머신에서 최대 12 개의 프로세스 단계를 처리 할 수 있으며, 이는 대용량 반도체 제조에 이상적인 솔루션입니다. 또한, 이 도구는 최대 125mm 직경의 렌즈로 웨이퍼 기판을 측정 할 수 있습니다. 전반적으로, SLOAN DEKTAK 6M은 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 박막 레이어를 빠르고 정확하게 측정 할 수 있으며, 반도체 제조에 이상적인 솔루션입니다. 정밀도, 정확성, 다용도 (versitility) 는 업계에서 매우 유용한 도구이며, 제조업체가 시장에서 사용할 수 있는 최고의 품질의 제품을 제공할 수 있도록 해 줍니다.
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