판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9378636

VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 다양한 반도체 프로세스에서 다양한 웨이퍼 표본을 처리 및 테스트하기 위해 만들어진 고정밀 표면 프로파일러입니다. 이 시스템은 실리콘, 폴리 실리콘, 에피 택시 재료, 질화물, 산화물 및 기타 반도체 재료를 포함한 다양한 결정질 구조의 테스트를 용이하게하기위한 혁신적인 설계를 특징으로합니다. 설계에는 장치 전체에 이동하는 웨이퍼 (wafer) 의 서피스 프로파일 (surface profile) 을 모니터링 및 응답하기 위해 고급 감지 헤드 (advanced sensing head) 가 통합되어 있습니다. VEECO DEKTAK 3ST는 센서, 움직이는 무기, 전자 및 기타 지원 요소를 포함하는 알루미늄 프레임 지원 gantry를 포함하는 관절 식 기계 기계입니다. 간트리 (Gantry) 는 스테인리스 스틸 프레임에 장착 된 쿼츠 무게 크래들 위에 위치합니다. 베이스 프레임은 모터 액추에이터도 지원합니다. 이 모터는 석영 목욕을 가로 질러 슬라이딩 레일을 통해 알루미늄 간트리 (aluminum gantry) 를 움직입니다. 키트는 다중 축 컨트롤러 (multi-axis controller) 를 제공하며, 이를 통해 사용자는 간트리 (gantry) 의 위치, 감지 헤드 (sensing head) 의 감도, 센서 헤드 (sensing head) 의 속도를 조정하여 다양한 유형의 웨이퍼의 표면 프로파일을 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 기기에는 다양한 소프트웨어 애플리케이션이 포함되어 있으며, 이를 통해 사용자는 데이터를 분석하고, 기기를 보정하고, 프로파일 데이터를 저장할 수 있습니다. 이 설계에는 데이터 수집 및 분석을 자동화하는 강력한 소프트웨어 제품군도 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어 제품군을 사용하면 웨이퍼 프로파일을 저장 및 비교하고, 3D (3D) 모델을 만들고, 데이터를 분석하고, 데이터에 다양한 통계 모델을 적용할 수 있습니다. 또한 스캐닝 헤드 (scanning head), 피크 감지 레벨 (peak detection level), 확대 (zoom-in) 기능과 같은 다양한 에셋 설정을 빠르게 조정할 수 있는 별도의 제어판도 있습니다. SLOAN DEKTAK 3 ST가 사용하는 고급 센서 헤드 (Advanced Sensor Head) 는 광범위한 웨이퍼 표면에 대한 매우 정밀하고 다중 사이트 측정을 제공 할 수 있습니다. 센서는 광학 (optical) 과 간섭계 (interferometric) 기술을 결합하여 주어진 웨이퍼의 표면 프로파일을 정확하게 측정합니다. 이 모델은 1 ~ 6 마이크로미터 해상도의 단일 데이터 플레이트를 캡처 할 수 있습니다. DEKTAK 3 ST는 또한 전체 웨이퍼 매핑 기능을 제공하여 사용자가 웨이퍼 내의 각 사이트에서 균일 성 (unifority) 및 결함을 확인할 수 있습니다. DEKTAK 3ST 장비는 다양한 웨이퍼 표면을 측정하기위한 다재다능하고 매우 정확한 표면 프로파일러입니다. 이 기기는 고급 감지 헤드 (Advanced Sensing Head), 자동 데이터 획득 (Automated Data Acquisition), 강력한 소프트웨어 제품군 (Powerful Software Suite) 과 같은 다양한 기능을 제공하여 사용자가 대상 웨이퍼의 표면 프로파일을 측정, 분석 및 저장할 수 있도록 합니다. 이러한 도구를 사용하면 웨이퍼의 서피스 프로파일을 정확하게 측정할 수 있고, 웨이퍼 서피스의 세부 (detailed) 고해상도 (high-resolution) 3D 모델을 생성할 수 있습니다.