판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9351652
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ID: 9351652
Wafer surface profiler
Pentium III computer
PANASONIC Colored camera
LCD Monitor, 17"
DEKTAK Hot keys and mouse
HP Printer
Keyboard
Stylus: 2.5 µm
Power supply control box.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST는 벤치탑 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 웨이퍼 제작시 다양한 반도체 매개변수를 측정하도록 설계된 다재다능한 고정밀 (high-precision) 기기입니다. 3ST는 일반적으로 웨이퍼의 중요한 샘플링 및 통계 분석에 사용됩니다. 이 장비는 통합 웨이퍼 처리 및 자동화 된 카세트-카세트 트랜스포터 (cassette-to-cassette transporter) 를 특징으로하며 빠르고 정확한 웨이퍼 테스트, 특성 및 도량형 프로세스를 지원합니다. 또한 3ST 는 직관적인 그래픽 인터페이스 (Graphical Interface) 를 갖추고 있어 기기의 간편한 탐색과 실시간 테스트 결과, 데이터 시각화 (Visualization) 기능을 제공합니다. 3ST는 정밀 웨이퍼 표면 스캔을 위해 특허를받은 "수직 표면 프로파일러" 를 사용합니다. 이 고속, 고밀도 스캐너는 파장 10m로 작동하며 스캐닝 속도 (최대 500jm/s) 를 제공합니다. 스캐닝 헤드 (scanning head) 는 고해상도로 수천 개의 데이터 포인트를 수집할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 다양한 규모의 모든 웨이퍼 (wafer) 표면을 세밀하게 캡처할 수 있습니다. 3ST 독점 도량형 소프트웨어는 포괄적인 결과 분석을 제공하며, 이를 통해 비순응 웨이퍼를 빠르고 정확하게 식별 할 수 있습니다. 또한 고급 필터링 (filtering) 및 비닝 (binning) 기능을 통해 유연하게 소음과 간섭을 조정하여 실제 결과를 분석할 수 있습니다. 3ST는 프로파일, 거칠기, 서피스 높이, 두께, 결함 및 오염, 웹캐스트, 구멍 크기, 구멍 모양 등과 같은 다양한 유형의 웨이퍼 측정을 수행 할 수 있습니다. 이 시스템은 온도 조절, 습도 제어 및/또는 진동 분리 된 환경에서 작동하여 정확한 결과를 얻을 수도 있습니다. 전반적으로 VEECO DEKTAK 3ST (VEECO DEKTAK 3ST) 는 사용이 간편한 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 사용자가 고품질 반도체를 생산할 필요가 있다는 자신감을 제공합니다.
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