판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9210179

ID: 9210179
빈티지: 2001
Wafer surface profiler 2001 vintage.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST는 반도체 산업을위한 완전 자동화, 정확하고 안정적인 웨이퍼 검사 및 도량형 장비입니다. VEECO DEKTAK 3ST는 기본 검사부터 고급 프로파일링까지 다양한 단계에서 정밀도를 제공합니다. 강력한 정확성과 반복 성을 갖춘 직접 드라이브 및 저압 웨이퍼 테스트 머신입니다. 기계는 웨이퍼의 표면 및 지형을 검사하는 데 사용됩니다. 이 제품은 높이, 두께 및 섬세한 웨이퍼의 다른 특성을 측정하기 위해 레이저 간섭계 (laser interferometer) 를 사용하는 간단한 2 축 광학 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 비 접촉 표면 프로파일 메트리, 주사 전자 현미경 (SEM), 입자 이미징 벨로시 메트리 (PIV) 및 와전류 검사 (ECI) 와 같은 다양한 기능을 제공합니다. SLOAN DEKTAK 3 ST는 웨이퍼 표면에 직접 이미징 할 수도 있습니다. SLOAN DEKTAK 3ST의 고급 프로파일 측정 및 스캔 기능을 통해 표면 분석에 이상적인 기계입니다. 이 기계는 통합 비전 (integrated vision) 도구를 사용하여 웨이퍼 표면의 나노미터 레벨 정보를 캡처하여 데이터 포인트로 처리합니다. 그런 다음 다양한 수학적 알고리즘을 적용하여 웨이퍼의 특성을 매핑하고 놀라운 RT3D (Real Time 3D Imaging) 시뮬레이션, 전체 보고서, CAD 도구, 프로세스 제어 시스템 및 분석 시스템으로 쉽게 공유하거나 가져올 수 있는 형식의 3D 모델을 생성합니다. VEECO DEKTAK 3 ST에는 저압 표면 프로파일 (low-pressure surface profilometry) 첨부가 장착되어 있어 높은 처리량 검사 및 분석에 이상적입니다. 저압 기능은 섬세한 웨이퍼를 측정 할 때 광범위한 정확성과 반복 성을 보장합니다. 이 중요한 제안은 VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST를 나노 미터 수준의 표면 도량형 및 검사에 이상적인 선택으로 만듭니다. 결론적으로, DEKTAK 3 ST는 정확성, 반복 가능성 및 처리량에 최적화된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. 이 기계는 나노 미터 수준의 정확도로 표면과 지형 특성을 캡처 할 수 있으며, 저압 프로파일 링 (low-pressure profiling) 기능은 섬세한 웨이퍼에 큰 정확성을 제공합니다. 전체 프로파일로메트리 및 데이터 수집 도구를 갖춘 DEKTAK 3ST (DEKTAK 3ST) 는 고급 서피스 분석에 이상적인 모델입니다.
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