판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9192102

VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST
ID: 9192102
Inspection system.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST는 와퍼 분석의 정확성과 정확성을 제공하는 몰입 형 기술 기능으로 개발 된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 웨이퍼 테스트 (wafer test) 및 도량형 어플리케이션을 위한 광범위한 고급 측정 기능을 갖추고 있습니다. 하드웨어부터 VEECO DEKTAK 3ST는 정밀도 및 정확성을 위해 업계 표준 VEECO 고해상도 용량 변위 게이지 헤드를 제공합니다. 샘플 이동을 위해 고밀도, 고밀도 전동 Z 단계를 포함하는 모듈 식 플랫폼으로 설계되었습니다. 게이지 헤드 (gage head) 와 Z 스테이지 (Z-stage) 는 강력한 그래픽 사용자 인터페이스로 관리되는 게이지 컨트롤러에 연결됩니다. SLOAN DEKTAK 3 ST는 또한 자동 피쳐 인식, 빠른 스캔 속도 등의 고급 측정 기능을 제공하여 정확한 특성을 제공합니다. 계단 높이가 10nm 인 지형을 감지 할 수 있으며, 선형성과 동적 범위 (dynamic range) 가 뛰어납니다. 특허를 획득한 AED (Advanced Endpoint Detection) 기술은 각 스캐닝 세션의 종점에서 샘플 모양을 정확하게 찾습니다. DEKTAK 3 ST는 또한 향상된 Z축 교정 정확도를 제공하여 더 일관되고 안정적인 테스트 결과를 제공합니다. 또한 애플리케이션 요구 사항에 따라 다양한 옵션을 제공합니다. 고해상도 광학 및 주사 음향 현미경 기능을 제공하여 고급 장치 특성, 3D 표면 측정, 결함 분석에 이상적입니다. 또한 저진동 격리로 설계되어 고성능 데이터 안정성을 제공합니다. 소프트웨어 측면에서 VEECO DEKTAK 3 ST는 분석, 데이터 스토리지, 보고 기능을 제공하는 포괄적인 소프트웨어 유틸리티를 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어에는 3D 이미징, 자동 웨이퍼 맵 스티칭, 자동 패턴 인식 (pattern recognition) 및 시스템의 강력한 하드웨어를 활용하는 결함 분석 프로그램이 포함됩니다. 이 도구를 사용하면 웨이퍼 스텝 높이, 표면 지형 및 균일 성, 필름 스트레스, 먼지 그레인 니스 및 기타 특성을 분석 할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 테스트 결과를 기록하기 위한 데이터 저장 및 보고 도구도 포함되어 있습니다. 전반적으로 DEKTAK 3ST는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 웨이퍼에 대한 정확하고 정확한 분석을 제공합니다. 데이터 저장, 분석 및 보고를위한 고해상도 게이지 헤드, 전동 Z 스테이지 및 종합 소프트웨어 제품군을 갖추고 있습니다. VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST는 신뢰할 수 있는 데이터와 장치 형상의 정확한 특성화가 필요한 고성능 어플리케이션에 적합한 귀중한 자산입니다.
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