판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9157734

VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST는 최첨단 기술과 기술을 활용하여 다양한 재료 및 기판에 고급 도량형 기능을 제공하는 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 탁월한 정확도, 반복성 등 다양한 매개변수에서 뛰어난 성능을 발휘하며, 다양한 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 (metrology) 애플리케이션에 적합합니다. VEECO DEKTAK 3ST는 수직 스트로크 범위가 3mm 인 XY 정밀 포지셔닝 단계와 단일 축 스타일러스 힘 센서와 함께 비 자기, 스테퍼 모터 구동 피에조 구동 액츄에이터로 구성됩니다. 사용자 정의 설계 액츄에이터는 정밀도 0.25 äm의 정밀 높이 측정을 제공하며, 응답 시간은 0.45ms, 최소 단계 크기는 3 nm입니다. 또한, 힘 센서의 감도는 0.1mN, 범위는 최대 10mN입니다. SLOAN DEKTAK 3 ST에는 5 배의 밝기 및 다크 필드 이미징 기능이 내장 된 통합 광학 현미경도 포함되어 있습니다. 따라서 웨이퍼 특성과 기능을 정확하게 검사할 수 있습니다. 현미경의 광학 장치 (Optical Unit) 는 뛰어난 명암과 이미지 선명도를 제공하며, 통합 소프트웨어는 모든 측정, 강력한 데이터 저장, 시청 기능을 직관적으로 제어합니다. SLOAN DEKTAK 3ST의 비접촉 도량형 (non-contact metrology) 기능은 광범위한 웨이퍼 재료에서 저항성, 단계 높이 및 지형을 직접 측정할 수 있습니다. 이 기계는 수동 모드 (수동 모드) 로 작동합니다. 여기서 매개변수는 사용자가 정의하거나 자동 모드 (automated mode) 에서 작동합니다. 여기서 도구는 미리 정의된 테스트 조건에 따라 측정하도록 프로그래밍됩니다. 자동 모드 (Automated mode) 는 닫힌 루프 제어를 사용하여 광범위한 환경 또는 기판 조건에서 측정이 반복 가능하도록 유지합니다. VEECO DEKTAK 3 ST에는 고급 데이터 처리, 동적 패턴 인식, 멀티미디어 데이터 출력 등 다양한 정교한 기능과 기능이 있습니다. 이러한 기능을 통해 VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST는 전기, 마이크로 기계 및 광전자 장치 특성, 문제 해결, 결함 감지 및 고장 분석에 이르기까지 다양한 응용 프로그램에 이상적입니다. 요약하면, DEKTAK 3 ST는 뛰어난 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 다양한 재료 및 기판에 대한 높은 정확성과 반복 성을 제공합니다. 고급 광학 현미경, 강력한 힘 센서, 통합 도량형 기능, 정교한 데이터 처리, 멀티미디어 출력 등을 갖추고 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 DEKTAK 3ST는 다양한 응용 프로그램에 이상적인 모델이되었습니다.