판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #9132980

VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST는 반도체 웨이퍼 스캔 및 테스트를 위해 설계된 초정밀 비접촉 웨이퍼 테스트 장비입니다. 웨이퍼 치수와 서피스 프로파일에 대해 정확하고 반복 가능한 측정을 제공하는 데 중점을 둡니다. 이 시스템에는 고급 광학 및 도량형 (optical and metrology) 기술이 적용되어 일반 또는 패턴 기판을 포함한 다양한 반도체 웨이퍼를 테스트합니다. VEECO DEKTAK 3ST는 품질 관리 및 생산 도량형 작업을 위해 설계되었습니다. 빠른 스캐닝을 위한 고속, 3 축 샘플 스테이지 (sample stage) 와 피치나 포커스 조정 없이도 Z축을 따라 수평으로 샘플을 이동할 수있는 독특한 스윙 경로 (swing path) 가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면, 서피스 패턴이 달라질 때에도 단위 (unit) 가 샘플에서 샘플까지 정확한 측정을 전달할 수 있습니다. 기계의 고급 광학 및 도량형 엔진 (Optical and Metrology Engine) 은 오류를 최소화하고 가장 정확한 데이터를 보장하는 잘 정의 된 측정 경로를 허용합니다. SLOAN DEKTAK 3 ST에는 2D 모양과 복잡한 기판 기능을 분석하기위한 복잡한 2D 형태 인식을위한 고급 알고리즘이 있습니다. 강력한 분석/보고 기능을 통해 대용량 데이터 세트를 검사하고 중요한 프로세스 매개변수를 측정할 수 있습니다 (영문). 이 툴의 자동 보고 (Automated Reporting) 툴을 사용하면 신속하게 Pass/Fail 결정을 내릴 수 있으며, 이를 통해 사용자가 신속하게 불일치 부품을 파악할 수 있습니다. 또한, 데이터를 다양한 형식으로 쉽게 익스포트하여 분석할 수 있습니다. VEECO DEKTAK 3 ST 자산은 친환경적이고 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 설치와 작동이 용이합니다. 반복 가능성을 위한 측정 매개변수를 설정하기 위한 자동 워크플로가 있습니다. 설치 및 운영을 용이하게 하는 다양한 소프트웨어 툴도 포함되어 있습니다 (영문). LabVIEW, VisualBasci, Python 등 다양한 프로그래밍 언어와 호환됩니다. 또한 VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST는 SEMI, JEDEC 및 MIL-S-8808을 포함한 다양한 품질 표준을 준수합니다. DEKTAK 3 ST는 품질 제어 작업 및 생산 도량형에 적합하며, 웨이퍼에 대한 매우 정확한 치수 및 표면 프로파일 측정을 제공합니다. 또한, 정교한 광/도량형 시스템 외에도 데이터 분석/보고 기능 자동화, 설치/운영 용이성 향상, 다양한 품질 표준 준수 등을 제공합니다. 따라서 SLOAN DEKTAK 3ST는 매우 강력하고 유용한 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다.