판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #293817112

ID: 293817112
빈티지: 1992
Surface profiler Z resolution: 10 nm X/Y resolution: 0.2 µm Application: step height measurement (~2 µm deep, <8 µm wide) Tip angle: 60° 1992 vintage.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST는 최신 광학 이미징 기술을 활용하여 반도체 웨이퍼 및 기타 미세 구조를 측정 및 분석하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. VEECO DEKTAK 3ST (VEECO DEKTAK 3ST) 는 모듈식 플랫폼을 제공하여 개별 요구 사항과 애플리케이션에 맞게 시스템을 사용자 정의할 수 있습니다. SLOAN DEKTAK 3 ST는 내부 메타 재료 이미징 기능과 함께 높은 정확도의 광학 및 촉각 조사 기술을 결합하여 상세한 웨이퍼 테스트 결과를 생성합니다. 높은 정확도의 광학 프로브 기술은 셀, 분석 및 얼룩의 3 차원 (3D) 모양을 측정합니다. 광학 프로브 (optical probe) 의 미세 제어를 통해 사용자는 가장 미세한 패턴과 세부 (details) 조차 정확하게 측정할 수 있습니다. 이를 통해 각 반도체 웨이퍼 또는 미세 구조에서 여러 구조의 빠르고, 정확하며, 재현 가능한 측정이 가능합니다. 또한 광학 "프로브 '를 미세 하게 제어 하면 수동" 프로파일' 수정 이나 수정 이 필요 치 않다. VEECO DEKTAK 3 ST는 높은 수준의 해상도와 정확도로 사파이어 기판, 금속, 폴리머와 같은 다양한 기판을 스캔 할 수있는 x/y/z 스캔 기술을 사용합니다. SLOAN DEKTAK 3ST는 반도체 웨이퍼에 대한 전기 저항성을 측정하는 기능도 제공합니다. 이것은 in-situ meta-material imaging 기능과 결합하여 반도체 웨이퍼 및 기타 미세 구조에 대한 완전한 특성 및 생산 분석을 제공합니다. VEECO/SLOAN DEKTAK 3 ST는 사용자에게 친숙한 장치이며, 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 사용자는 특정 응용 프로그램에 맞게 시스템을 쉽게 구성할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 여러 웨이퍼 (wafer) 를 동시에 분석할 수 있으며 테스트 피쳐를 측정하고 프로덕션 프로세스의 불규칙성을 점검할 수도 있습니다. 전반적으로, DEKTAK 3ST는 다양한 반도체 웨이퍼 및 미세 구조를 빠르고 정확하게 분석 할 수있는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. DEKTAK 3 ST는 높은 정확도의 광학 프로브, 현장 메타 재료 이미징 및 x/y/z 스캔 기능의 조합으로 사용자에게 다양한 특성 및 생산 분석 기능을 제공합니다. 사용자 친화적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 는 VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST를 모든 반도체 또는 미세 구조 어플리케이션에 추가할 수 있도록 쉽게 구성하고 작동할 수 있도록 합니다.
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