판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3ST #293725380

ID: 293725380
Surface profiler.
VEECO/SLOAN DEKTAK 3ST 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 반도체 기판의 다양한 전기, 광학 및 표면 관련 특성을 측정 할 수있는 고급 플랫폼입니다. 이 시스템은 피에 조 (Piezo) 기반 서피스 프로파일로메트리의 힘을 활용하여 1nm의 고해상도에서 표면 지형 및 표면 거칠기를 정확하게 측정합니다. 또한 두꺼운 저항이나 깊은 참호를 프로파일하는 고급 분할 기능을 제공합니다. 정밀도를 향상시키기 위해 장치는 도량형 장치를 사용하여 입체 측정 및 반도체 웨이퍼 매개변수를 분석합니다. VEECO DEKTAK 3ST (VEECO DEKTAK 3ST) 에는 반도체 기판의 넓은 표면적에 대한 자동 이미지 획득이 포함되어 있어 보다 안정적인 제품과 보다 효율적인 생산 프로세스를 지원합니다. 소프트 터치 이미징 (Soft touch imaging) 은 민감한 표면의 이미징을 개선하고 최소한의 힘으로 더 정확한 결과를 제공합니다. 자동 매핑 (Automated Mapping) 기능을 통해 전체 기판 표면을 미리 정해진 패턴으로 컴퓨터로 제어하여 보다 빠르고 효율적으로 분석할 수 있습니다. SLOAN DEKTAK 3 ST의 다중 축 스테퍼 모터는 직경 최대 8 인치의 기판을 측정 할 수 있으며 고급 프로그래밍 가능/멀티 스텝 스캔 패턴 기능을 갖추고 있습니다. 또한 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 화면 아이콘 세트와 함께 사용하면 쉽게 공구를 작동할 수 있습니다. 광범위한 기능 (features) 과 함께, 에셋은 사용자가 주어진 응용 프로그램 (application) 을 기반으로 측정을 더욱 조정할 수 있는 기능으로 웨이퍼 (wafer) 측정을 사용자 정의할 수 있도록 합니다. 이 제품은 빠르고 간편한 교정 및 유지 관리를 위해 설계되었으며, 따라서 문제 없는 (Trouble-free) 작업을 수행할 수 있습니다. 스크래치 감지 (Scratch Detection) 및 장애 분석 (Failure Analysis) 기능을 비롯한 다양한 추가 기능을 통해 연구 환경과 제조 환경 모두에 적합합니다. VEECO DEKTAK 3 ST는 높은 정확성과 사용자 유연성을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로, 제품 안정성 향상, 운영 비용 절감 효과를 제공합니다. 이 장비의 자동 매핑 (automated mapping) 및 이미징 기능, 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 및 다양한 기능을 통해 반도체 기판의 다양한 특성을 측정하는 데 적합합니다. 시스템은 결함 감지, 장애 분석, 디바이스 최적화 등 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다.
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