판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9245279

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030은 VEECO Corporation에서 개발 한 자동화된 정밀 웨이퍼 테스트 및 계측 장비입니다. VEECO DEKTAK 3030 시리즈는 초박막, 임계 크기 및 다중 계층 구조를 정확하게 측정합니다. SLOAN DEKTAK 3030 시리즈는 하위 옹스트롬 해상도의 정확성과 최대 30mm의 측정 범위를 통해 MEMS (micro-electromchanical system) 및 나노 기술 개발에 귀중한 도구 역할을합니다. DEKTAK 3030은 컨트롤러, 드라이브 시스템, 웨이퍼 프로브 및 스테이지로 구성됩니다. 컨트롤러는 프로세스 매개 변수에 액세스, 제어 및 표시하기 위한 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 제공하는 마이크로프로세서 기반 장치입니다. 드라이브 머신은 정밀한 동작 제어, 안정성, 반복성을 제공하는 선형 (Linear) 및 회전 (Rotary) 모터 배열로 구성됩니다. 웨이퍼 프로브 (Wafer Probe) 는 커패시턴스 (Capacitance) 및 레이저 기술을 사용하여 접촉 (Contact) 또는 비접촉 (Non-Contact) 모드에서 샘플의 표면 특성을 모니터링하고 측정합니다. 스테이지 툴은 기계식, 압전 (piezoelectric) 및 음성 코일 (voice coil) 모터를 조합하여 프로그래밍 가능한 샘플 스캔 및 트래버스 기능을 제공합니다. VEECO/SLOAN DEKTAK 3030 시리즈의 주요 응용 분야는 표면 거칠기, 응력 및 웨이퍼의 두께, 패턴 된 피쳐의 임계 치수 (CD) 및 마이크로 일렉트로닉 구성 요소의 위치를 측정하는 것입니다. 자산은 매우 정확하며 거칠기 및 CD 측정에 대해 0.2 옹스트롬 (A) 미만, 깊이 측정에 대해 0.5 A 미만의 반복 가능성을 제공합니다. VEECO DEKTAK 3030 시리즈는 IC, MEMS 및 nanoscale 장치 평가의 정교한 요구 사항을 충족하는 다양한 자동 도량형 도구를 제공합니다. 테스트 패턴을 손쉽게 조정하고 포지셔닝할 수 있도록 다양한 스캐닝 (scanning) 전략을 제공합니다. 모델 아키텍처는 확장성, 정확성 및 유연성을 향상시키도록 최적화되었습니다. 데이터 로깅을 통해 실시간 데이터 모니터링 및 자동 작업을 지원합니다. 업그레이드 가능한 임베디드 소프트웨어를 사용하면 장비 기능을 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 시스템은 고해상도 이미징, 측정 속도 및 정확도, 비접촉 모드, 무접촉 정전용량 감지 및 통합 AFM (Atomic Force Microscopy) 및 STM (Scanning Tunneling Microscopy) 옵션과 같은 기능을 지원합니다. 전반적으로 SLOAN DEKTAK 3030 시리즈는 다양한 어플리케이션에 대해 높은 수준의 정확성과 유연성을 제공하는 고급 도량형 장치입니다. 이 기계는 포괄적이고 안정적인 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형을 제공하여 제품 개발 시간과 비용을 대폭 단축시켜 높은 수준의 정확성과 반복 (repeatability) 을 보장합니다.