판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9193065

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030은 최적의 성능과 정확성을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼의 광범위한 표면 및 지표면 특성을 측정 할 수 있습니다. 디지털 이미징 (digital imaging) 과 간섭계 (interferometry) 를 활용하여 빠르고 정확한 측정이 가능한 강력한 광 장치가 장착되어 있습니다. VEECO DEKTAK 3030 기계는 스캔 암, 견고한 도량형 헤드 및 X-Y 변환 단계로 구성된 긴 작업 명령 좌표를 특징으로합니다. 스캔 암 (scan arm) 은 샘플 웨이퍼에 직접 액세스 할 수 있으며, 이는 더 작은 웨이퍼에서도 자세한 표면 측정을 가능하게합니다. 도량형 헤드는 또한 긴 Z 높이 (Z-height) 기능으로 세부 하위 면 측정을 얻을 수 있습니다. 이 도구는 또한 높은 정확도, 반복성, 안정성을 제공하여 고품질 측정을 보장합니다. SLOAN DEKTAK 3030의 광학 기계 자산은 10mW NxProbe He-Ne 레이저 간섭계와 디지털 현미경을 포함하는 2 개의 최첨단 광학 구성 요소로 구성됩니다. 레이저 간섭계는 고해상도 수직 측정을 생성하고 정확한 평면 내 측정을 제공합니다. 한편, 디지털 현미경은 이미징 및 도량형 작업과 관련된 다양한 프로세스 (고해상도 이미징, 텍스처 분석 등) 를 최적화합니다. 모델과 함께 제공되는 소프트웨어 제품군은 도량형 헤드 (metrology head), XY 스테이지 (XY stage) 및 장비 컴포넌트를 제어하는 데 도움이 됩니다. 사용자 편리하고 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 사용자는 어디서든 기기를 제어할 수 있으며, 데이터 수집 프로세스도 간소화할 수 있습니다. 이 시스템은 데이터를 읽기 쉬운 형식으로 직접 출력하여 결과의 추가 분석 (analysis) 및 데이터 해석 (data interpretation) 을 수행할 수 있습니다. 전반적으로, DEKTAK 3030은 웨이퍼 표면 및 특성에 대한 정확한 분석 및 도량형이 필요한 모든 응용 프로그램에 이상적인 솔루션입니다. 긴 작업 명령 좌표 및 광학 기계 장치 (opto-mechanical unit) 와 같은 기능을 사용하여 매우 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한 강력한 소프트웨어 제품군을 통해 결과를 얻고 평가할 수 있습니다. 이 기계는 효율적이고 안정적인 측정을 위한 최적의 성능과 정확성을 제공합니다.