판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9175618
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ID: 9175618
웨이퍼 크기: 6"
Stylus profiler, 6"
Step height measurement range:
Maximum: 100 kÅ
Minimum: 1310 Å
Radius: 12.50 Micron
Controller type: Microprocessor controller
Measuring range: 100Å to 1310kÅ
Scan speed range: Low, medium, high
Vertical resolution:
1Å In the 65kÅ range
10Å In the 655kÅ range
20Å In the 1310kÅ range
Data points per micron: 0.04 - 40
Scan length: 50 microns to 50 mm
Leveling: 2 Point programmable or cursor leveling
Stylus: 12.5 Micron, diamond
Maximum sample thickness: 1.75"
Sample stage diameter: 7"
Sample stage translation:
Manual:
X Axis: 6"
Y Axis: 3"
Zoom range: 35x-200x
Power requirements:
110 / 120 V
50 / 60 HZ
1 Phase
VEECO/SLOAN DEKTAK 3030은 반도체 제조 시설에서 품질 제어를 위해 설계된 4 세대 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 장치에는 3D 비접촉 스타일러스 프로브 (3D non-contact stylus probe) 가 장착되어 있으며, 이러한 피쳐의 높이나 깊이를 측정하면서 웨이퍼 서피스에 피쳐의 크기와 모양을 프로파일링할 수 있습니다. VEECO DEKTAK 3030에는 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 수용 할 수있는 스테이지가 장착되어 있으며, 듀얼 셔틀 디자인으로 빠른 기판 교환을 제공합니다. SLOAN DEKTAK 3030의 비접촉 (non-contact) 스타일러스는 0.0003 인치의 정확도로 웨이퍼 표면을 가로 질러 이동할 수 있지만, 사용자는 미리 정해진 공차 안에서 설계 기능을 자동으로 인식할 수 있습니다. 이 장치에는 편리한 메뉴 방식 소프트웨어 인터페이스가 있어 작동이 쉽고 설치가 빠릅니다. 또한 그래픽 데이터 오버레이 (graphical data overlay) 를 지원하여 사용자가 프로파일 데이터를 보다 잘 파악할 수 있도록 지원합니다. 또한 DEKTAK 3030은 웨이퍼 유형별로 오류 관리를 위해 최대 1,000 개의 샘플 프로파일과 최대 99 개의 측정 레시피를 저장할 수 있습니다. 이 장치에는 샘플 테이블 노이즈를 줄이기 위한 진동 격리 (Vibration isolation), 종이 테이프 홀 (Paper Tape Holes) 또는 피두 시얼 (Fiducials) 을 사용하여 웨이퍼를 찾는 기계적 사전 정렬, 저마찰 움직임을 보장하기위한 고효율 공기 베어링 등 많은 추가 기능이 장착되어 있습니다. 모범적인 속도와 정확성을 제공하는 VEECO/SLOAN DEKTAK 3030은 전문 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 신뢰할 수 있고 경제적이며 정확한 솔루션입니다.
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