판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9169275

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030은 반도체 산업의 웨이퍼 기능을 정확하게 측정하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 서피스 및 지형 피쳐의 측정 및 검사를위한 통합 단위 (integrated unit) 가 있습니다. 모든 측정 프로세스는 가장 정밀하고 정확하게 수행됩니다. VEECO DEKTAK 3030은 명목상 평평한 웨이퍼뿐만 아니라 비 플랫 웨이퍼의 측정을 위해 레이저 간섭 및 스타일러스 기술의 독특한 조합을 사용합니다. 다목적 설계로 현재 반도체 (Semiconductor) 산업에서 사용되는 일반적인 웨이퍼 크기를 광범위하게 적용 할 수 있습니다. 비형상 웨이퍼 형상을 수용할 수 있는 사용자 정의 스캐닝 옵션도 사용할 수 있습니다. 기계의 단일 채널 데이터 획득에는 3 개의 측정 축이 있으며, 측면 변위의 경우 2 개, 수직 변위의 경우 1 개가 있습니다. 이를 통해 SLOAN DEKTAK 3030은 웨이퍼 높이 측정, 임계 치수 (CD) 측정, 표면 거친 매핑 및 3D 이미징에 대한 서브 아이콘 해상도를 제공 할 수 있습니다. DEKTAK 3030에는 측정 정확도를 향상시키는 고급 소프트웨어가 있습니다. 고대비 (high-contrast) 그래픽 디스플레이를 갖춘 이 소프트웨어는 대용량 데이터 세트를 손쉽게 보고, 해석하고, 분석할 수 있도록 함으로써 정확성과 반복성을 보장합니다. 또한 고해상도 자동 초점 (auto focus) 및 지형 측정을위한 고급 알고리즘과 다양한 그래프 형식의 피쳐 조건 분석 (feature condition analysis) 및 데이터 디스플레이 (data display) 가 포함됩니다. 또한 VEECO/SLOAN DEKTAK 3030은 타일링, 자동 초점, 단계 모드, 단일 지점, 색상 매핑, 3D 이미징, 인스턴트 보고서 생성, 사후 처리 및 자동 측정 시퀀스 구성과 같은 광범위한 측정 기술과 프로토콜을 지원합니다. 이 도구에는 광범위한 오프라인 분석 및 보고서 생성 옵션도 있습니다. VEECO DEKTAK 3030은 안정성이 뛰어나고 강력한 자산으로, 사용자에게 정확하고 반복 가능한 결과와 탁월한 처리량을 제공합니다. SLOAN DEKTAK 3030은 다양한 기능과 유연한 설계를 통해 생산 및 연구 실험실 (Production and Research Laboratories) 과 고급 프로세스 기술 평가 (Advanced Process Technologies) 에 사용될 수 있습니다.