판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9096140

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030은 반도체 및 기타 재료의 표면 토폴로지를 측정하기 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 수직과 측면 측정에서 정확성과 반복성을 보장하기 위해 독특한 스타일러스 (stylus) 기술을 사용합니다. VEECO DEKTAK 3030에는 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 수용 할 수있는 스테이지가 있으며, 넓은 샘플 영역을 제공합니다. 스타일러스는 수직 해상도 0.30 m, 측면 해상도 0.50 m 인 웨이퍼 (wafer) 표면 층의 충돌을 측정하도록 설계되었습니다. 스타일러스는 압전 (piezoelectric) 요소에 결합되어 샘플의 정확한 측정에 도움이됩니다. 스타일러스에는 스프링로드 압력 막대가 있으며, 이는 측정 중 환경 진동을 제거하는 데 도움이됩니다. SLOAN DEKTAK 3030은 고유 한 접촉 센서 기술을 사용하여 웨이퍼 표면에 일관된 스타일러스 압력을 유지합니다. 콘택트 센서 뒤의 고급 전자 장치는 또한 알고리즘 기반 접근 방식을 통해 자동 스타일러스 리프트를 제공합니다. 이 시스템에는 공기 흐름을 제어하고 외부 간섭을 제한하는 차폐 케이스 (shielded enclosure) 와 손쉬운 작동을 위한 컬러 LCD 모니터 (Color LCD Monitor) 도 포함되어 있습니다. DEKTAK 3030은 단계 높이, 임계 치수, 거칠기, 코너/모서리 선명도와 같은 서피스 피쳐의 치수와 모양에 대한 민감하고 정확한 측정을 제공합니다. 사실상 모든 웨이퍼 (wafer) 유형에 대한 측정을 수행 할 수 있으므로 다양한 도량형 (metrology) 응용 프로그램에 이상적입니다. VEECO/SLOAN DEKTAK 3030에는 기계적 정밀도 및 광학 기술의 조합을 통해 3 차원 모양을 측정하는 기능과 같은 몇 가지 독특한 기능이 있습니다. ISO 9001과 같은 국제 도량형 표준을 준수하는 매우 정확한 통계 및 반복 가능한 측정을 제공합니다. 안정적인 데이터 수집을 위해 데이터 포인트 (data point) 에서 프로파일을 분석, 계산하는 다양한 통계 알고리즘을 제공합니다. VEECO DEKTAK 3030은 또한 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 같은 소프트웨어 혁신을 통해 쉽게 작동할 수 있습니다. 또한 안전성 및 데이터 무결성 향상을 위한 자동 스타일러스 리프팅 (automatic stylus lifting) 을 비롯한 다양한 자동 기능이 있습니다. 다양한 컴퓨터 인터페이스를 지원하므로, 기존 도량형 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 전반적으로, SLOAN DEKTAK 3030은 반도체 및 기타 재료의 표면 토폴로지를 측정하기 위해 설계된 고급, 기능이 풍부한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 첨단 전자 제품, 통합 차폐 (Integrated Shielding) 및 종합 소프트웨어 (Comprehensive Software) 를 통해 다양한 도량형 애플리케이션을 선택할 수 있습니다.