판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #293600243

VEECO/SLOAN DEKTAK 3030은 웨이퍼 표면 편평도, 필름 두께 및 기타 중요한 웨이퍼 매개변수를 측정하는 데 사용되는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 기술적으로 진보 된 테스트 및 도량형 시스템으로서 VEECO DEKTAK 3030은 필름 두께, 표면 반사율, 스펙트럼 방출, 표면 거칠기, 지형 등 다양한 매개변수에 대한 높은 정확도 결과를 제공합니다. DEKTAK 장치는 여러 구성을 허용하는 모듈식 설계를 기반으로합니다. X-Y 단계, Z축 동작 모듈, 샘플 인터페이스 모듈 및 Z축 샘플 조작 모듈로 구성됩니다. X-y 스테이지는 최대 12 마이크로 인치 해상도와 16 ~ 100 나노 미터 정확도의 2 축 고속 정밀 스테이지입니다. 이 단계는 부드러운 성능과 상당한 부하 용량을 제공하는 마이크로 미터 제어 드라이브 머신 (micrometer-controlled drive machine) 에 의해 구동됩니다. Z축 동작 모듈은 페로 플루이드 밀봉 (ferrofluid sealed) 슬라이드로 구성되며 10 초의 아크 단위로 이동할 수 있습니다. 이 모듈은 3 차원의 샘플 조작을 허용하여 공구의 측정 정확도를 높입니다. 샘플 인터페이스 모듈은 다양한 샘플 홀더와 함께 사용할 수 있으며, SLOAN DEKTAK 3030에 샘플을 정확하게 로드할 수 있습니다. 여기에는 다양한 크기와 모양의 샘플을 처리 할 수있는 진공 자산 (vacuum asset) 이 포함됩니다. 마지막으로, Z축 샘플 조작 모듈을 사용하면 테스트 중에 샘플 위치를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 모듈에는 정교한 다중 축 선형 작동기, 힘 및 토크 센서, 소프트 스타트 기능이 포함됩니다. DEKTAK 3030의 테스트 기능에는 필름 두께, 서피스 반사율, 스펙트럼 방출, 서피스 거칠기, 지형 등 다양한 웨이퍼 매개변수가 포함됩니다. 이 모델은 상세한 패턴 황삭 프로파일과 기공 간격을 측정할 수 있으며, 총 평균 TRL (long range roughness) 값을 측정 할 수 있습니다. 이렇게 하면 웨이퍼의 평탄성과 서피스 품질을 확인할 수 있습니다. 또한 VEECO/SLOAN DEKTAK 3030은 박막 두께를 5 ~ 500nm에서 측정 할 수 있으며 코팅 균일성 및 광학 박막 두께와 같은 박막 특성을 측정 할 수 있습니다. 전반적으로 VEECO DEKTAK 3030은 웨이퍼 및 기타 샘플의 테스트 및 도량형을위한 다재다능하고 정확한 장비입니다. 모듈식 디자인, 고정밀도 스테이지 및 샘플 조작 기능이 결합하여 웨이퍼 평면도 (wafer flatness) 및 박막 (thin-film) 특성을 검증하는 강력한 도구입니다. 이 시스템은 실험실에 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 신뢰할 수 있고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.