판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3 #9105676

VEECO/SLOAN DEKTAK 3은 VEECO Instruments 및 SLI, Inc.에서 개발 한 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 웨이퍼 지형, 지형 프로파일, 전기 특성 등을 빠르고 정확하게 평가하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 스타일러스 기반 비접촉 (non-contact) 스캔 기술을 사용하여 웨이퍼의 표면 구조와 전기 특성을 측정합니다. 1 초 안에 최대 60 개의 측정을 생성 할 수 있으며, 보다 빠르고 정확한 측정이 가능합니다. 또한 자동 샘플 준비 및 교정 프로세스 (automatic sample preparation and calibration process) 와 데이터 작업 및 분석을 단순화하는 정교한 소프트웨어 패키지도 갖추고 있습니다. 이 장치 에는 "웨이퍼 '의 두께 와 전자 이동성 의 변화 를 탐지 하는 고급 광학" 머신' 이 장착 되어 있는데, 그것 을 정확 히 측정 하기 위해서이다. 박막의 두께, 저온 장벽 층, 열 확산 (thermal diffusivity) 을 측정 할 수 있습니다. 스타일러스 기반 스캔 도구는 단 몇 초 만에 최대 50 포인트/인치 또는 최대 8mm2까지 스캔 할 수 있습니다. VEECO DEKTAK 3은 0.25 um에서 40 um 사이의 다양한 x-y 해상도를 특징으로하며 정확도는 1% 입니다. 자산은 박막의 변위, 두께, 높이 및 단면 데이터를 1% 의 정확도로 측정 할 수 있습니다. 표면 결함을 쉽게 감지하고, 표면 지형을 분석하고, 균열을 감지 할 수 있습니다. 또한 XY 스테이지 (XY stage), 텐셔너 (tensioner), 웨이퍼 스트로브 (wafer strobe) 등 다양한 주변 장치를 장착하여 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이러한 컴포넌트를 사용하면 사용자가 샘플 조건을 정확하고 정확하게 설정하여 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. SLOAN DEKTAK 3은 연구 개발 실험실의 빠르고 정확한 측정을 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 장비입니다. 실험실이 가장 높은 수준의 정확성과 효율성을 달성하도록 돕는, 사용자 친화적이며 비용 효율적입니다.