판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3 #293681691

VEECO/SLOAN DEKTAK 3은 프로세스 모니터링 및 wafer 형상 검사를 위해 특별히 설계된 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. Probe Technology, Digital Video Microscopy 및 광학 기술의 조합을 사용하여 고해상도 2 차원 및 3 차원 측정을 제공합니다. 이 시스템은 반도체를 스캔 할 때 정확하고 반복 가능한 결과를 보장하는 자동 교정 스테이션을 갖추고 있습니다. VEECO DEKTAK 3은 정밀 기계식 XY 포지셔닝 (positioning) 단계를 활용하여 사용자가 측정값을 효과적으로 제어하여 빠르고 효과적으로 스캔할 수 있도록 합니다. 이 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 장치 (metrology unit) 는 유연성이 높아 다양한 검사 시나리오에 빠르고 쉽게 적응할 수 있습니다. 또한 데이터 관리 툴 (data management tool) 과 사용자 친화적인 소프트웨어 (user friendly software) 를 통해 활용성을 높이고 빠르고 효율적으로 정보를 액세스할 수 있습니다. SLOAN DEKTAK 3에는 고해상도 측정을 제공하기 위한 전용 광학 구성이 장착되어 있습니다. 이 구성 은 여러 개 의 "렌즈 ', 광원, 그리고 정확 한 측정 을 위해 함께 작용 하는 여러 개 의" 센서' 로 이루어져 있다. 이 자산은 웨이퍼 (wafer) 에서 가장 작은 기능을 해결하도록 설계되었으며, 최대 0.2 m 크기의 기능을 측정 할 수 있습니다. DEKTAK 3은 프로파일 (profile) 및 서피스 거칠기 (surface roughness) 와 같은 기계적 특성과 표면 코팅, 서피스 마무리 및 화학 조성과 같은 재료 특성을 감지 할 수 있습니다. 이 모델은 또한 이전 공정에서 금속 입자, ESD, 오염 입자와 같은 오염을 감지 할 수 있습니다. 또한 제조 공정의 후반 단계에서 웨이퍼 (wafer) 의 성능에 영향을 미치는 변형, 뒤틀림, 컨투어 오류 (contour error), 재료 결함 및 기타 기계적 결함을 감지 할 수 있습니다. 전반적으로 VEECO/SLOAN DEKTAK 3은 매우 다재다능하고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. Probe Technology (Probe Technology), Digital Video Microscopy (디지털 비디오 현미경) 및 광학 기술의 독특한 조합은 웨이퍼 형상을 프로세스 모니터링하고 검사하는 데 이상적인 도구입니다. 정확하고 반복 가능한 결과는 생산 된 웨이퍼의 품질을 보장합니다.