판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3 #293600237
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3은 박막 및 표면 분석을위한 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 로컬 스텝 높이, 총 스텝 높이 및 평균 필름 두께 (mean film thickness) 결과에서 웨이퍼 서피스의 정확하고 반복 가능한 측정을 제공합니다. 업계에서 가장 정확하고 포괄적인 결과를 얻을 수 있는 다양한 전문 광 구성 요소 (optical component) 와 소프트웨어 툴 (software tools) 이 있습니다. VEECO DEKTAK 3에는 웨이퍼 표면을 분석하는 다양한 광학 구성 요소가 있습니다. Darkfield 또는 Brightfield LED 조명 (Brightfield LED Illumination) 으로 구성된 간섭계를 사용하여 매우 정확한 평균 및 로컬 두께 결과를 얻습니다. 로컬 단계 높이와 프로파일을 측정하기 위해 SLOAN DEKTAK 3은 하부 나노미터 해상도 기능이 있는 컨투어 리플렉트론 매핑 (Contour Reflectron Mapping) 을 사용합니다. DEKTAK 3에는 스캐닝 전자 현미경 (Scanning Electron Microscope) 도 있으며 사용자는 최대 300배의 배율과 단색 이미징 기능을 제공합니다. 이를 통해 세부 사항이 매우 작은 기능을 측정할 수 있습니다. VEECO/SLOAN DEKTAK 3 소프트웨어는 웨이퍼 표면의 정확한 분석을 돕기 위해 다양한 기능을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 Step Height, Distance, Feature Size 와 같은 보고서와 통계를 생성할 수 있습니다. 또한 강력한 후처리 알고리즘을 통해 웨이퍼 서피스의 숨겨진 기능을 확인할 수 있습니다. 또한 대화형 (interactive) 그래픽 사용자 인터페이스가 장착되어 있어 사용자가 직관적인 방식으로 결과를 검토할 수 있습니다. 사용자는 오프셋 (offset) 및 임계값 기반 측정 기준을 입력할 수도 있습니다. 이 기준은 사용자에게 전체 제어 권한을 부여하여 분석을 사용자 정의할 수 있습니다. 추가 데이터 분석을 위해 VEECO DEKTAK 3에는 2D 프로파일링 이미지, X-Y 차트, 서피스 플롯 등 다양한 형식의 데이터를 분석할 수있는 고급 그래픽 분석 옵션이 있습니다. SLOAN DEKTAK 3은 사용자 친화적이고 효율적이며 신뢰할 수 있도록 설계되었습니다. 매우 가볍고 접근성이 뛰어나 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 및 도량형 실험실 (metrology labs) 에 이상적입니다. 다양한 하드웨어/소프트웨어 옵션과 통합되어 다양한 씬 필름 (Thin Film) 및 웨이퍼 (Wafer) 애플리케이션에 적합합니다. 사용자가 가장 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있도록 시스템을 보정하고, 쉽게 조정할 수도 있습니다. DEKTAK 3은 박막 (Thin Film) 과 웨이퍼 (Wafer) 표면을 분석하는 효율적이고 안정적인 방법을 찾는 사람들에게 이상적인 도구입니다.
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