판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #9281986

VEECO/SLOAN DEKTAK 150은 반도체 장치 제조를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 모서리 위치 (edge position), 서피스 지형 (surface topography), 서피스 거칠기 (surface roughness) 와 같은 웨이퍼 서피스 특성을 정확하게 측정합니다. bumps, pits, steps와 같은 피쳐와 표면 오염 물질을 측정 할 수 있습니다. 이 장치는 스타일러스 팁 프로브를 사용하여 샘플 웨이퍼를 스캔하고 측정합니다. 프로브는 선형 모터에 연결된 암에 부착됩니다. 이 모터 (motor) 는 회전 팔을 이동하여 웨이퍼 서피스를 기준으로 스타일러스의 위치를 조정합니다. 이 기계는 또한 자동 레벨 링 도구 (Automatic Leveling Tool) 를 포함하여 웨이퍼에 대한 프로브를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 자산은 커패시턴스 (capacitance), 간섭계 (interferometry), 광학 프로파일로미터 (optical profilometer) 등 다양한 센서 기술로 구성할 수 있습니다. 각 유형의 센서에 대해, 모델은 웨이퍼의 표면 지형을 측정하기 위해 스타일러스 팁 (stylus tip) 에 의해 스캔되는 광학 프린지 (fringe) 를 포함합니다. VEECO DEKTAK 150의 소프트웨어 기능을 사용하면 사용자가 정의한 보정 및 분석 설정 매개변수를 사용할 수 있습니다. 또한 도움말 (Help) 기능이 있는 사용자 친화적인 그래픽 메뉴 인터페이스 (Graphical Menu Interface) 가 포함되어 있어 장비 탐색과 특정 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 완벽한 웨이퍼 연구를 위해 보고서, 테이블, 차트를 생성할 수 있는 강력한 데이터 분석 기능을 제공합니다. 또한 데이터를 다양한 형식으로 저장하여 손쉬운 데이터 저장 (data storage) 및 데이터 교환 (data exchange) 을 수행할 수 있습니다. SLOAN DEKTAK 150은 안정적이고 효율적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 리서치 및 프로덕션 환경에서는 빠른 데이터 획득, 높은 신뢰성, 도량형 테스트 (metrology testing) 의 탁월한 정확성을 제공하여 널리 사용됩니다. 이 도구의 자동 기능을 사용하면 정확한 웨이퍼 (wafer) 특성 측정을 빠르고 정확하게 수행할 수 있습니다.