판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293812945
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VEECO/SLOAN DEKTAK 150은 반도체 샘플을 측정하고 분석하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 매우 정확한 시스템에는 2mm x 0.2mm 광학 인코더가 장착되어 있으며, 직경 150mm까지의 표면을 정확하게 스캔하고 1.8 옹스트롬의 반복성으로 미세 한 움직임을 정확하게 측정 할 수 있습니다. VEECO DEKTAK 150의 강력한 단색 광학 현미경은 뛰어난 이미징 기능을 제공하며, 10 나노미터 정도의 작은 기능을 쉽게 감지 할 수 있습니다. 현미경은 밝은 필드 (Field) 와 어두운 필드 이미징 (Dark Field Imaging) 을 모두 가능하며, 사용자가 일반 (Normal) 및 반전 (Inverted) 형태의 테스트 샘플을 스캔하고 분석 할 수 있습니다. SLOAN DEKTAK 150은 10nm 해상도의 XY 샘플 단계를 특징으로하여 샘플의 X-Y 좌표를 정확하게 조사하고 측정 할 수 있습니다. 이 단계는 또한 레이저 리프트 오프 (laser lift-off) 모드에서 작동 할 수 있으며, 이는 ± 2nm의 반복 가능성으로 층 샘플의 깊이를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 강력한 광학 현미경 외에도 DEKTAK 150에는 나노 스케일 기능을 관찰 및 측정 할 수있는 통합 AFM/MC-AFM 센서가 장착되어 있습니다. 이 특수 센서는 AFM (Atomic Force Microscopy) 을 사용하여 0.5 나노 미터 정도의 기능을 측정하여 과학자와 엔지니어가 접착력, 국부 스트레스, 표면 거칠기, 전기 특성 등의 샘플을 정확하게 측정 할 수 있습니다. VEECO/SLOAN DEKTAK 150은 오늘날의 반도체 및 박막 산업의 요구에 맞게 설계된 고급 장치입니다. 다양한 측정, 이미지 처리, 분석 구성요소 (analysis component) 를 갖춘 이 시스템은 프로세스의 효율성을 높이고 제품의 품질을 향상시키는 데 도움이 되는 상세한 데이터와 분석을 제공합니다. 사용자 친환경적이고 직관적인 인터페이스를 통해 쉽게 배우고, 운영할 수 있으며, 또한 제조업체의 프로세스 최적화 (optimize process) 에 도움이 됩니다.
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