판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293810864

VEECO/SLOAN DEKTAK 150은 반도체 웨이퍼 표면의 비 접촉 및 접촉 측정을 모두 제공하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 정적 (static) 과 동적 (dynamic) 표면 특성을 수행하기 위해 회절 (diffraction) 과 간섭 (interferometric) 기술을 조합하여 고급 광학 시스템을 갖추고 있습니다. VEECO DEKTAK 150에는 비접촉 서피스 스캐너 (non-contact surface scanner) 가 있으며, 이는 웨이퍼 표면의 곡률, 프로파일 및 기타 미세한 피쳐를 정확하게 측정하는 데 사용됩니다. 0.306 미크론 (30 nm) 이상의 범위까지 다른 서피스 컨투어를 측정 할 수 있으며, 측정을 3 차원 데이터 포인트로 기록 할 수도 있습니다. 측정의 정확성을 보장하기 위해 SLOAN DEKTAK 150은 서보 모터 구동 z축 단계와 통합 레이저 프로파일링 장치를 갖춘 고급 광학 현미경을 사용합니다. 또한, 이 장치는 데이터 수집, 조작 및 분석을 자동화하는 PC 기반 소프트웨어에 의해 구동됩니다. "데크 탁 '150 은 또한" 웨이퍼' 나 표본 의 저항력 을 측정 하는 데 사용 되는 접촉 "스타일러스 '를 갖추고 있다. 매우 정확한 센서로, 기계는 0.1 nm까지 측정 해상도를 달성 할 수 있습니다. 공구에 사용되는 스타일러스 (stylus) 는 다양한 프로브 (probe) 로 구성되며, 최대 유연성으로 다양한 측정이 가능합니다. 또한, VEECO/SLOAN DEKTAK 150에는 측정 프로세스를 자동화하고 향상된 결과와 향상된 반복성을 제공하는 자율 검사 및 분석 자산이 장착되어 있습니다. 전반적으로 VEECO DEKTAK 150은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로, 웨이퍼 특성 응용 프로그램에 사용될 때 우수한 결과를 제공합니다. 신뢰성이 높고 정확하며, 최소 사용자 상호 작용으로 정확한 측정을 수행합니다. 고급 광학 장비와 컨택트 스타일러스 (Contact Stylus) 를 사용하면 다양한 서피스 컨투어, 지형 및 저항을 측정 할 수 있습니다. 결과적으로 SLOAN DEKTAK 150은 많은 웨이퍼 제작 프로세스에 이상적인 시스템입니다.