판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293808885

ID: 293808885
Surface profiler.
VEECO/SLOAN DEKTAK 150은 반도체 특성을 위해 설계된 다기능 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 반도체 웨이퍼의 높이, 표면 텍스처 및 다양한 전기 특성을 동시에 측정 할 수 있습니다. VEECO DEKTAK 150은 독점적 인 주사력 현미경 설계를 사용하여 반도체 웨이퍼의 물리적 특성을 측정합니다. 저강도, 고해상도 캔틸레버 프로브를 사용하여 미크론 스케일 해상도로 균일 한 또는 비 균일 한 지형 기능의 높이를 측정합니다. 또한 5 나노 미터 정도의 해상도로 표면 텍스처를 특성화할 수 있습니다. 주사력 현미경 (scanning force microscope) 을 사용하여 웨이퍼의 주름, 구덩이, 피크 및 기타 물리적 표면 특징을 측정 할 수 있습니다. SLOAN DEKTAK 150에는 전기 특성 측정이 포함되어 있습니다. 4 점 프로브 포탑은 광범위한 웨이퍼 유형에서 시트 저항, 접촉 저항, 표면 전위를 측정 할 수 있습니다. 커패시턴스-전압 및 커패시터 등가 계열 저항을 측정하기위한 커패시턴스 스캐너가 포함되어 있습니다. DEKTAK 150에는 또한 마이크로프로브를 사용하여 정적 (static) 또는 동적 (dynamic) 모드에서 장치 매개변수를 측정하는 전기 매개변수 특성 시스템이 포함되어 있습니다. VEECO/SLOAN DEKTAK 150은 기능이 풍부한 소프트웨어 패키지에서 지원되며, 이를 통해 사용자는 결과를 빠르고 효율적으로 분석하고 문서화할 수 있습니다. 직관적 인 인터페이스를 통해 사용자는 다양한 방식으로 측정을 시각화 할 수 있습니다. 이 소프트웨어는 사용자가 소음, 게인, 고장 등 wafer 수준의 프로세스 메트릭을 신속하게 평가할 수 있도록 지원합니다. 사용자는 자체 분석 스크립트를 사용자 정의하여 워크플로를 간소화할 수도 있습니다. VEECO DEKTAK 150은 품질 보증 팀, 연구 기관 및 엔지니어링 실험실을위한 이상적인 도구입니다. 구성 기능과 다기능 기능을 통해 프로세스 개발 주기를 정확하게 평가하고 최적화할 수 있습니다. 물리적 (physical) 및 전기적 (electrical) 특성 측정을 동시에 수행할 수 있으므로 사용자가 프로세스 매개변수를 신속하게 개발하고 구체화할 수 있습니다. EMC 소프트웨어 패키지는 데이터 수집 및 분석 작업을 쉽고 효율적으로 수행하며, 효율적인 실험 실행을 지원합니다.
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