판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293653436
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VEECO/SLOAN DEKTAK 150은 다양한 반도체 웨이퍼 분석에 사용되는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 표면 거칠기, 도펀트 농도, 저항성 등 웨이퍼의 다양한 특성을 측정 할 수 있습니다. VEECO DEKTAK 150은 반도체 기판을 분석하기위한 통합 솔루션입니다. 로봇 샘플 처리 단계, 여러 점 프로브 스테이션, 샘플 스테이지로 구성됩니다. 로봇 장치에는 6 축 로봇 암과 수동 운송 머신이 포함되어 있어 샘플 로딩이 가능합니다. 프로브 스테이션 (Probe Station) 은 표면 거칠기, 저항성, 도펀트 농도 및 기타 지표와 같은 웨이퍼의 특정 물리적 특성을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 프로브 스테이션에는 고해상도 광학 현미경, 간섭계 및 x- 선 회절 도구가 포함되어 있습니다. 레이저 간섭계는 표면 거칠기의 매우 정확한 측정을 제공합니다. x-ray 자산은 웨이퍼의 도펀트 농도를 얻는 데 도움이됩니다. SLOAN DEKTAK 150에는 여러 샘플 단계도 포함되어 있습니다. 이를 사용하여 샘플 이동을 촉진하거나 테스트 중에 추가 샘플 안정성 (sample stability) 을 제공 할 수 있습니다. 이 모델은 매우 자동화되어 있으며 여러 웨이퍼 테스트를 동시에 실행할 수 있습니다. 고급 소프트웨어 제어 로직 (Advanced software control logic) 은 테스트 수행 시 높은 수준의 정확성과 반복 가능성을 제공합니다. 이 장비에는 프로브 위치 모니터링 (Probe Position Monitoring) 및 안전 장벽 (Safety Barrier) 과 같은 여러 안전 기능이 포함되어 있어 사용자의 안전을 보장합니다. DEKTAK 150은 완전히 통합되어 사용하기 쉽습니다. 결함 감지, 장애 분석, 수율 관리 등 여러 애플리케이션에 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공하며, 반도체 업계에서 귀중한 도구입니다.
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