판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 150 #293643666
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VEECO/SLOAN DEKTAK 150은 반도체 웨이퍼의 표면 기능을 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 현재/향후의 통합 디바이스 (integrated device) 의 검사 및 도량형에서 최적의 성능을 발휘하도록 구성됩니다. 이 시스템은 더 단단한 이동, 낮은 마찰 베어링 및 더 높은 단계 해상도로 정밀 측정을 허용하는 XYZ 포지셔닝 단계를 기반으로 구축되었습니다. VEECO DEKTAK 150은 최고 해상도를 달성하기 위해 고급 광 설계를 사용하며, 기능을 1.5nm까지 측정할 수 있습니다. 더 높은 해상도 는 더 큰 "소오스 '로부터 더 많은 양 의 빛 을 사용 하여 개선 된" 옵틱' 을 통하여 수집 함 으로써 가능 하다. SLOAN DEKTAK 150의 중심에는 강력한 통합 소프트웨어 패키지가 있습니다. 여러 가지 "소프트웨어 '" 모듈' 이 개발 되어 이 장치 는 대규모적 인 "테스트 '구조 의 계기 가 되었으며, 자동화 된 작업 을 할 수 있는 강력 한 스크립팅 기능 이 있다. 이 소프트웨어는 자동으로 샘플의 가장자리를 판별할 수도 있으므로, 지루한 수작업 (manual measurement) 이 필요하지 않습니다. DEKTAK 150에는 스캐닝 범위, 프로브, I/O 컨트롤러 및 멀티 미터를 확장하여 성능을 극대화하는 확장기 암 (extender arm) 을 포함한 다양한 액세서리가 제공됩니다. VEECO/SLOAN DEKTAK 150 머신은 또한 최대 5 개의 웨이퍼를 동시에 샘플링 할 수 있으며, 이는 프로덕션 실행에서 많은 웨이퍼를 테스트 및 분석하는 데 이상적입니다. 도량형 챔버 (Metrology Chamber) 에서 온도 및 습도 제어를 제공하여 보드 전체에서 정확하고 일관된 결과를 얻을 수있는 자동 환경이 특징입니다. VEECO DEKTAK 150의 성능은 결함 감지 및 특성화를위한 무자비한 도구이며, 엔지니어는 균일성 (unifority) 에 대한 장치 표면을 신속하게 평가하고 스크래치와 부식이 있는지 평가할 수 있습니다. 또한 고해상도 (High-resolution) 기능을 통해 다양한 프로세스에서 가장 정확한 측정이 가능하므로 웨이퍼 강도 (Wafer Strength) 와 신뢰성을 평가하기 위한 훌륭한 도구입니다. 전반적으로, 이 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구는 반도체 웨이퍼 평가를위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다.
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