판매용 중고 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 340 #9411735

VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 340은 대용량 반도체 제조 환경을 위해 설계된 강력하고 유연한 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 최대 24 개 (24 개) 의 개별 동시 테스트 사이트를 조합하여 여러 웨이퍼 테스트 및 스캔 작업에 이상적입니다. VEECO Dimension VX 340의 테스트 사이트에는 4 개의 인덱스 가능한 회전 (단일 12 "플랫폼) 과 함께 3 축 웨이퍼 처리, 고속, 처리량 진공 단계 이동이 있습니다. 표준 버전에서는 최대 12 개의 개별 테스트 및 도량형 (Metrology Module) 을 통해 구성할 수 있으며, 각 모듈은 다양한 기능과 기능을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 광학 검사 및 잔류 가스 분석 (RGA) 과 같은 특정 응용 분야를 위해 설계된 다양한 특수 옵션을 제공 할 수 있습니다. DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 340은 사용자에게 편리한 작동을 위한 여러 가지 편리한 기능을 제공합니다. 더 빠른 웨이퍼 변경을 위해 Foup-less 로봇 장치 (Foup-less robotics unit) 로 설계되었으며 직경이 최대 15 인치 (15 인치) 인 웨이퍼에 쉽게 구성 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 테스트 사이트와 원격 사이트 간에 데이터를 공유하기 위한 통합 PACS (Picture Archiving and Communication System) 를 갖추고 있습니다. 추가 옵션에는 맞춤형 테스트 스테이션 벤치, 샘플 홀더 및 테스트 헤드 실드가 포함됩니다. 또한 Dimension VX 340에는 다양한 전원 공급 장치 옵션과 3D Optical Profiling, Interferometry, Laser Plane Polarimetry 및 White-light scanning과 같은 다양한 통합 도량형 도구가 포함되어 있습니다. 또한 CCD 이미징과 스캐닝 전자 현미경을 모두 사용하는 비 파괴적인 전면 관찰 도구를 제공합니다. VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 340은 온라인 웨이퍼 매핑 (Wafer Mapping) 및 패턴 인식 소프트웨어 (Pattern Recognition Software) 등 다양한 프로세스 최적화 및 데이터 분석 기능을 제공하여 자산 성능을 모니터링하고 분석할 수 있습니다. 또한 쉽게 확장할 수 있도록 설계되었으며, 대용량 웨이퍼 (wafer) 테스트를 위한 테스트/도량형 (metrology) 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 전반적으로 VEECO Dimension VX 340은 대용량 제조 환경을 위해 설계된 강력하고 안정적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델입니다. 쉽게 구성할 수 있으며, 최신 도량형 (metrology) 툴과 소프트웨어를 사용하여 사용자가 프로세스 수익률과 생산성을 높일 수 있습니다.