판매용 중고 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 340 #9286899

VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 340은 생산 및 연구/개발 실험실의 요구를 모두 충족하도록 설계된 고급 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 다중 DOF (multi-DOF) 도량형에서 다중 축 (multiple axes) 및 다중 (multiple) 결과가 필요한 광범위한 프로세스 테스트 애플리케이션에 이르기까지 다양한 웨이퍼 크기와 프로세스 흐름을 처리하도록 설계되었습니다. VEECO Dimension VX 340은 나노 스케일 연구를 위해 특별히 설계되었습니다. 나노 미터 레벨 스테이지 스케일링 정확도를 가진 0.3nm 반복 가능성 스테이지 (repeatability stage) 를 특징으로하여 연구자들은 나노 미터 레벨 측정 불확실성 내에서 피쳐를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 또한 자외선 (UV) 에서 적외선 (적외선) 까지의 파장을 가로 질러 측정 할 수있는 스펙트럼 감도를 제공하는 TEM 표면 영역 검출기가 장착되어 있습니다. DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 340은 여러 바이어스 수준이 필요한 웨이퍼의 전기 특성을 측정하기 위해 열전 AC-DC 바이어스 발전기 (옵션) 를 제공합니다. 또한이 장치에는 현장 도량형 및 분석을위한 CCD 및 EDX (에너지 분산 X- 선 분광법) 센서가 모두 포함되어 있습니다. CCD는 이미징에 사용되고 EDX는 원소 또는 문화 분석에 사용됩니다. 기계는 표면 거칠기, 강인성, 마모, 열 전도성 등과 같은 장치의 다양한 특성을 측정 할 수 있습니다. 로더 스테이션 (loader station) 에서 스테이지로 웨이퍼 (wafer) 를 전송하는 자동화된 프로세스를 지원하는 척 (chuck) 과 샘플 (sample) 로드 스테이션이 장착되어 있으며, 측정이 완료된 후 다시 돌아옵니다. 또한 Dimension VX 340은 포괄적인 소프트웨어 및 하드웨어 기능을 제공합니다. 멀티레이어 소프트웨어는 산업 자동화, 모니터링, 보고 기능을 완벽하게 지원하므로 교육/경험을 최소화하면서 웨이퍼 (wafer) 를 효율적이고 정확하게 처리할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 는 사용자가 신속하게 설정을 변경하고 데이터를 시각화 (Visualized) 형식으로 캡처할 수 있도록 함으로써 사용자 생산성을 극대화합니다. GUI 는 데이터 분석 (data analysis), 시각화 (visualization) 및 보고서 생성 도구를 제공하여 자산에서 수집한 데이터에 대한 사용자의 통찰력을 향상시킵니다. 전반적으로 VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 340은 강력하고 자동화된 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델로, 연구원들에게 자동화된 기능의 포괄적인 배열을 제공하며, 나노미터 수준의 기능을 높은 정확도로 측정할 수있는 힘을 제공합니다.