판매용 중고 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 340 #9270545
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ID: 9270545
Atomic force profiler, 12"
Head: 15µm
Chuck: Prealign low contact
Dual port ISO BROOKS.
VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 340 장비는 중요한 웨이퍼 특성에 대한 고속, 높은 정확도를 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 장치는 4- 타일 아키텍처, 환경 제어, 가시 파장 확장, 처리량 및 성능 향상을 위한 고화질 빔 스티어링과 같은 고급 기능을 제공합니다. 이 기계는 통합 4 타일 (4-tile) 설계를 사용하여 여러 패스에 웨이퍼를 배치하여 고속 웨이퍼 테스트를 가능하게합니다. 이 기능은 또한 단일 웨이퍼 유형 (Single Wafer Type) 또는 단일 패스 시퀀스 (Single Pass Sequence) 에 대한 의존도를 줄여 정확도 및 반복성 향상으로 인해보다 효율적인 리소그래피 프로세스를 제공합니다. 이 도구에는 동적 빔 스티어링 (dynamic beam steering) 기능이 장착되어 있어 임의의 오류 없이 높은 정확도의 빔 위치를 제공합니다. 광범위한 웨이퍼 (Wafer) 크기와 재료와 호환되며, 웨이퍼 (Wafer) 의 모든 깊이에서 피쳐를 측정하여 전체 장치의 높은 정확도 도량형을 가능하게 합니다. 또한, 에셋은 웨이퍼 (Wafer) 주변의 환경에서 온도와 습도를 제어하기 위한 고급 환경 제어 (Environment Control) 모델을 통해 일관된 결과를 보장합니다. 이 장비는 또한 자동 튜닝 시스템 (Automated Tuning System) 을 제공하며, 이를 통해 단위는 장애물을 빠르게 조정하고 높은 정밀도로 정확한 표면 측정을 준수 할 수 있습니다. VX 340 머신에는 확장 가능한 가시 파장 (extensible visible wavelength) 도구가 장착되어 있어 도량형 및 테스트 결과의 고해상도 특성화가 가능합니다. 이는 고급 소프트웨어 알고리즘 (advanced software algorithm) 을 통해 이루어지며, 에셋이 각 샘플에 대해 최상의 이미지 캡처 매개변수를 선택하고 최적화할 수 있습니다. 마지막으로, 이 모델은 다양한 사용자 친화적 기능을 사용하여 연산자 간섭을 최소화하고, 처리량을 증가시킵니다. VEECO Dimension VX 340 장비는 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 및 직관적인 측정 기능으로, 고성능 웨이퍼 테스트 및 도량형에 이상적인 솔루션입니다.
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