판매용 중고 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS Dimension VX 330 #9379227

VEECO Dimensions VX 330은 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 생산의 엄격한 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 강력한 정밀 측정 하드웨어, 고급 현미경 광학, 최신 비디오 전자 장치 (video electronics) 를 활용하여 웨이퍼와 샘플을 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 장치는 정확한 3 축 동작 플랫폼을 갖추고 있으며, X-Y-Z 해상도가 3 나노 미터까지 내려가는 넓은 작업 영역에 대해 반복 가능한 스캐닝 정확도를 제공합니다. 고해상도 카메라는 최대 6 미크론의 해상도로 이미지 데이터를 캡처할 수 있습니다. 자동화된 에지 확대/축소 및 타겟팅 기능을 통해 높은 정확도와 빠른 속도로 측정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 150 및 200mm 웨이퍼를 모두 수용 할 수있는 고성능 흑연/세라믹 샘플 스테이지를 갖추고 있습니다. 특허를받은 하이브리드 피에조 액츄에이터 (hybrid piezo actuator) 를 활용하여 스테이지는 안정적이고 반복 가능한 결과를 위해 뛰어난 선형 성과 히스테리시스 특성을 갖습니다. 자체 진단 및 활성 레벨링을 통해 웨이퍼가 빠르고 정확하게 바뀝니다. VX 330에는 고급 분석 소프트웨어가 포함되어 있으며, 웨이퍼 평면도, 임계 치수 (CD) 측정, 오버레이 결과, 정량적 3D 컨투어 이미징에 이르기까지 광범위한 표면 도량형 응용 프로그램을 처리합니다. 산업용 3D 이미징 알고리즘을 사용하면 복잡한 샘플을 빠르고 정확하게 3D 프로파일링할 수 있습니다. 종합적인 통계 분석, 자동 보고 기능, 아카이빙 (sample archiving) 툴과 결합된 이 툴은 최신 운영 테스트 시설을 위한 종합적인 wafer testing 및 metrology 솔루션을 제공합니다. 또한, 자산은 아키텍처 및 소프트웨어 업그레이드가 가능하며, 새로운 기술에 대한 마이그레이션 경로를 제공하고, 테스트 처리량 및 반복성을 향상시킵니다.