판매용 중고 VEECO / DEKTAK V 300Si #293585852

VEECO/DEKTAK V 300SI는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 소형 폼 팩터에서 정확하고 반복 가능한 측정 및 고급 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 이 "시스템 '은 소규모의 연구 시설 에서 대규모 산업 현장 에 이르기 까지, 광범위 한 실험실 및 생산" 테스트' 환경 에 적합 하다. 이 장치는 최대 300mm 직경의 샘플을 측정하기 위해 경량, 강성, 폐쇄 루프 XYZ 스테이지와 결합 된 완전 통합, 비접촉식, 3 축 도량형 머신을 갖추고 있습니다. 비접촉식 도량형 도량형은 고급 레이저 삼각 측량 기술을 사용하며, 이를 통해 -Zzactuation에 비해 높은 정밀도, 저소음 및 선형 반복 성을 측정 할 수 있습니다. 이 에셋은 또한 샘플 서피스의 높은 정확도 기울기 및 회전 측정을위한 독특한 이중 축 단계를 특징으로합니다. 웨이퍼 테스트를 위해 VEECO V-300SI는 기계식 웨이퍼 프로브 (wafer probe) 모델을 통합하여 직경 최대 12 인치의 비파괴 테스트 및 웨이퍼 측정을 허용합니다. 이 장비에는 고대비 이미지를 제공하며 표면 거칠기, 표면 높이, 광학 매개변수 (예: 반사율, 백스캐터, 동질성) 를 정확하게 측정 할 수있는 백라이밍 시스템이 있습니다. 고급 프로세스 제어 및 분석을 위해 DEKTAK V-300 SI는 고급 알고리즘을 사용하여 샘플 서피스 피쳐를 식별하고 라인 너비, 공간 너비, 임계 치수, 비균일성 등의 중요한 매개변수를 매핑합니다. 이 단위에는 또한 독특한 드리프트-보정 알고리즘이 포함되어 있으며, 이는 시간이 지남에 따라 웨이퍼 평탄도의 작은 변화를 보상 할 수 있습니다. 사용자 인터페이스 측면에서, VEECO/DEKTAK V-300 SI는 그래픽 의사 결정 서비스와 자동 데이터 분석이 가능한 직관적이고 사용하기 쉬운 소프트웨어를 제공합니다. 또한 다양한 프로그래밍 언어와 API (API) 가 제공되며, 이를 통해 사용자는 테스트 환경을 사용자 정의하고 시스템의 기능을 최대화할 수 있습니다. 전반적으로, DEKTAK V 300SI는 소형 폼 팩터에서 정확하고 반복 가능한 측정 및 고급 프로세스 제어를 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 비접촉식 (contactless) 도량형 자산과 고급 분석 (advanced analysis) 알고리즘을 갖춘 이 모델은 다양한 실험실 및 생산 테스트 환경에 적합합니다.