판매용 중고 VEECO / DEKTAK 8000 #9328743

VEECO/DEKTAK 8000 (VEECO/DEKTAK 8000) 은 반도체 장치 및 재료의 전기 특성을 정확하게 측정하도록 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 공정 산출량 및 제조 효율성을 최적화하는 통합된 고도 (high) 테스트 및 도량형 솔루션을 제공합니다. VEECO 8000은 고급 나노 스케일 분석 및 이미징 기술을 사용하여 패턴화 된 표면의 비파괴적, 즉석 측정을 수행합니다. 해상도 향상, 정확도 판독 속도 향상, 처리 속도 향상을 위한 Precision Force 피드백이 통합되어 있습니다. 이 시스템은 품질 향상, 제품 생산량 향상, 비용 절감 효과를 제공합니다. 통합 된 동력 스테이지는 0.05 미크론 내에서 정확한 샘플 위치를 허용합니다. 내장 세트 가능 기판 매핑 기능 및 자동 정렬 기능은 DEKTAK 8000을 다른 시스템과 별도로 설정합니다. 넓은 스테이지 영역 (400 x 400 mm) 은 다양한 웨이퍼 크기를 수용하며, 웨이퍼 홀더 어셈블리 옵션은 높은 처리량 생산 및 자동화를 위해 다양한 접근 방식을 제공합니다. 장치 내의 굴절 기반 광학 요소는 0.07 äm에서 > 400 äm까지 이미징을 가능하게합니다. 시력 범위 (vision range of vision) 는 표면의 지형을 다른 높이에서, 그리고 2 개의 광축과 관련하여 볼 수있는 능력으로 촉진됩니다. 이 측정은 금속 및 유전체의 표면 무결성을 감지하는 데 사용될 수있다. 8000은 또한 시간 경과 연구 및 초점 현미경을 포함한 다양한 이미징 기능을 제공합니다. 통합형 소프트웨어는 실시간 측정 데이터 분석 기능을 제공하므로, 프로세스 모니터링 및 성능 향상을 위해 통계적 프로세스 제어 (statistical process control) 를 간단하게 수행할 수 있습니다. 전반적으로, VEECO/DEKTAK 8000은 반도체 장치 및 재료의 전기 특성을 높은 정밀하게 측정하는 통합 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 자동 정렬 및 전동 스테이지, 0.07 µm에서 > 400 äm까지의 광학 해상도, 표면 무결성을 결정하는 고급 이미징 기능이 특징입니다. 통합 소프트웨어는 또한 데이터를 실시간으로 분석하여 프로세스 모니터링 및 성능을 향상시킵니다.