판매용 중고 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK XT #293831020
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ID: 293831020
빈티지: 2018
Profilometer, 8"~12"
Isolation table
Vacuum chuck type
PC
2018 vintage.
VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XT는 반도체 웨이퍼에서 박막 및 표면 지형의 정확한 측정 및 분석을 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 VEECO Instruments, SLOAN Corporation 및 BRUKER Technologies의 고급 기술을 통합하여 반도체 제조 산업을위한 고성능 기능을 제공합니다. VEECO DEKTAK XT 장치의 핵심에는 독점적 인 스타일러스 프로파일러 (stylus profiler) 기술이 있으며, 이는 나노미터 스케일 높이 측정이 가능하며 정확성과 반복성이 높습니다. 기계는 시료의 지형을 매핑하기 위해 일정한 힘을 유지하면서 웨이퍼 (wafer) 의 표면을 스캔하는 다이아몬드 (diamond) 형 스타일러스를 갖추고 있습니다. 이를 통해 스텝 높이, 거칠기, 파도, 필름 두께 등 다양한 기능을 하부 나노미터 해상도로 세부 특성화할 수 있습니다. SLOAN DEKTAK XT는 또한 고급 자동화 기능을 제공하여 웨이퍼 테스트 프로세스를 간소화하고 처리량을 향상시킵니다. 이 툴에는 데이터를 신속하게 수집하고 분석할 수 있는 정교한 소프트웨어 (SW) 알고리즘이 장착되어 있어 정확한 측정과 보고서를 효율적으로 생성할 수 있습니다 (영문). 또한, 자산은 여러 웨이퍼 크기와 재료를 지원하도록 설계되어, 다양한 제조 요구사항에 적합하고 적응할 수 있습니다. 디크 탁 XT 모델 (DEKTAK XT model) 의 주요 장점 중 하나는 반도체 업계에서 광범위한 웨이퍼 테스트 응용 프로그램을 다루는 다재다능성입니다. 품질 관리 (Quality Control), 프로세스 개발 (Process Development) 또는 연구 목적에 관계없이, 이 장비는 다양한 요구 사항을 지원하는 포괄적인 측정 기능을 제공합니다. 여기에는 2D 및 3D 프로파일로메트리, 서피스 거칠기 분석, 필름 두께 측정, 스텝 높이 분석 등을 수행하는 기능이 포함됩니다. 또한, BRUKER DEKTAK XT는 측정 과정에서 웨이퍼 표면을 실시간으로 시각화할 수있는 고급 이미징 기능을 갖추고 있습니다. 이 기능을 사용하면 웨이퍼의 결함, 이상 (anomalies) 및 기타 주요 기능을 쉽게 식별, 분석할 수 있으며, 제조 과정에서 의사 결정 및 문제 해결을 개선할 수 있습니다. 신뢰성 및 내구성 측면에서 VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK XT 시스템은 반도체 생산 환경의 까다로운 상태를 견딜 수 있도록 설계되었습니다. 강력한 구성 및 정밀 엔지니어링 (Precision Engineering) 을 통해 설계되어 처리량이 많은 제조 환경에서도 장기적인 안정성과 성능 일관성을 보장합니다. 또한 글로벌 서비스/지원 네트워크 (Network of Service and Support Professional) 에서 지원하며, 사용자는 가동 시간과 운영 효율성을 극대화할 수 있는 포괄적인 지원 및 유지 보수 서비스를 제공합니다. 결론적으로, VEECO DEKTAK XT는 반도체 제조 응용 분야에 탁월한 정밀도, 효율성 및 다재다능성을 제공하는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계를 나타냅니다. 이 툴은 최첨단 기술, 자동화 기능, 고급 이미징 기능 (Advanced Imaging Features) 을 통해 반도체 제조업체에 고품질의 결과를 달성하고 업계에서 혁신을 주도할 수 있는 툴을 제공합니다 (영문).
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