판매용 중고 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK 8 #9291942

VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK 8은 반도체 제조업체 및 나노 기술 연구원이 구조물, 레이어 및 특징을 원자 스케일까지 정확하게 측정 할 수 있도록 설계된 고도의 정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 시스템은 웨이퍼 지형, 마이크로 두께 및 기타 중요한 매개변수를 나노 미터 수준의 정확도로 측정 할 수 있습니다. 이 장치에는 간섭계 (interferometric measuration) 를위한 강력한 광학 머신과 다중 웨이퍼 검사를위한 대형 스테이지가 장착되어 있습니다. 또한 시각적 검사를 위해 통합 된 전동 현미경이있는 통합 자동, 프로그래밍 가능한 프로브 포지셔닝 툴을 갖추고 있습니다. 이 자동 에셋 (automated asset) 을 사용하여 사용자는 샘플의 어느 곳에서나 프로브를 정확하게 배치할 수 있으므로 다양한 다이 (die) 및 웨이퍼 (wafer) 형상의 여러 위치를 쉽게 측정할 수 있습니다. 자동 모델은 또한 최대 1000Hz의 데이터 획득 속도를 허용합니다. 이 장비의 높은 정확도와 해상도는 독점적 인 간섭 기술 (interferometry technology) 에서 나온 것으로, 레이저 광선 2 개 사이의 광학 간섭 측정을 사용합니다. 이를 통해 환경 영향에 대한 반복 가능하고 면역성이 높은 매우 정확하고 정확한 측정을 취할 수 있습니다. VEECO DEKTAK 8에는 필터링, 데이터 수집, 분석 도구 등 다양한 통합 소프트웨어 기능이 있습니다. 또한 4 점 광학 두께, 깊이 맵, 1 차 평면 컨투어 (contouring) 기능과 같은 다양한 도량형 프로토콜을 지원하므로 웨이퍼 기능에 대한 세부적이고 정확한 정보를 수집할 수 있습니다. 또한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 작업을 간소화하고 최종 사용자 데이터 분석을 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로 SLOAN DEKTAK 8은 다양하고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 자동화되고 프로그래밍 가능한 Probe 포지셔닝 장치, 인터페로메트릭 (Interferometric) 기술, 통합 소프트웨어 (Integrated Software) 를 통해 원자 수준까지 중요한 기능을 정확하게 측정할 수 있습니다.