판매용 중고 VEECO / BRUKER / SLOAN DEKTAK 8 #293589975
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ID: 293589975
Profilometer
PC Controller
Non-functional frame grabber card
Operating system: Windows XP.
VEECO/BRUKER/SLOAN DEKTAK 8은 반도체 웨이퍼의 물리적, 전기 및 전자 특성을 측정하는 데 사용되는 웨이퍼 테스트 및 계측 장비입니다. VescoVEECO가 반도체 연구소 (Semiconductor Institute) 와 공동으로 개발 한 이 시스템은 정교한 광학 프로파일러 (Optical Profiler) 와 전자 테스트 시스템을 활용하여 각 칩 프로파일의 세부 사항을 얻습니다. 장치의 주요 구성 요소에는 스캐너, 컨트롤러 및 여러 측정 헤드가 포함됩니다. 스캐너는 다양한 테스트 샘플 크기를 지원하는 정밀 가공 단계입니다. XYZ 포지셔닝은 크기 (miniscule) 가 매우 정확하고, 일반적으로 1 미크론 (micron) 보다 우수하며, 사용자가 측정 및 테스트를 위해 웨이퍼에서 피쳐를 정확하게 찾을 수 있습니다. 컨트롤러는 기기의 기능 (예: 데이터 수집, 데이터 전처리, 사람이 읽을 수 있는 형식 제공) 을 관리합니다. 기계에서 가장 중요한 부분 중 하나는 측정 헤드입니다. 이곳에는 다양한 광학 프로파일러, 기계식 프로파일로미터, 전기 테스터 및 기타 도량형 장비가 부착되어 있습니다. 이러한 측정 헤드는 표면 거칠기, 전기 저항, 응력, 열 저항, 접착 등 각 웨이퍼의 다른 매개 변수를 측정하는 데 사용됩니다. VEECO DEKTAK 8 도구의 또 다른 중요한 구성 요소는 환경 실입니다. 이 약실은 주변 가스 및 온도의 양을 제어하는 데 사용됩니다. 챔버 내부의 환경은 입자 오염 물질, 부식성 가스, 다양한 기상 조건에서 재료의 신뢰성을 연구하기 위해 조작 될 수있다. SLOAN DEKTAK 8은 광범위한 측정 결과를 만들 수 있습니다. 파퍼 (Wafer) 구조의 실패점을 파악하고 프로세스 결함을 밝히는 데 매우 유용합니다. "웨이퍼 '공정 의 효율성 을 향상 시키고 더 나은 성능 으로" 칩' 을 개발 하는 데 이것 은 엄청 난 도움 이 될 수 있다. 또한, 운영자는 자산의 데이터 분석 (data analysis) 기능을 사용하여 제품 개발 추세를 추적, 분석할 수 있습니다. 전반적으로 BRUKER DEKTAK 8 모델은 반도체 웨이퍼의 테스트 및 도량형을위한 다재다능하고, 매우 정확하며, 신뢰할 수있는 도구입니다. 광학 프로파일러, 기계식 프로파일로미터, 디지털 테스터, 환경실 (environmental chamber) 의 조합으로, 모든 반도체 연구 개발 프로젝트에 적합한 선택입니다.
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