판매용 중고 VEECO / BRUKER NPFLEX #9309128
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ID: 9309128
빈티지: 2014
Optical profiler
Operating system: Windows 10
Camera: BASLER SCA640 74fm
LINNIK LWD objective: 0.5x and 10x
FOV: .55x, 1x, 2x
4-Axis stage plus tip / tilt in head carrier
2014 vintage.
VEECO/BRUKER NPFLEX는 복합 반도체 재료의 생산 및 연구를 위해 체계적으로 설계된 고급 도량형 및 웨이퍼 테스트입니다. 이 장비는 웨이퍼에서 III-V 화합물 반도체를 포함한 다양한 화합물에 대한 빠르고 정확한 비 파괴 테스트를 제공합니다. 가시 광선 현미경과 근거리 주사 광학 현미경 (NSOM) 의 조합을 사용하여이 시스템은 높은 측면 해상도 (최대 50 nm) 를 달성 할 수 있습니다. 높은 측면 해상도는 마이크로/나노 범프 및 트렌치와 같은 기본 기능, 캔틸레버 프로브 팁 (Cantilever Probe tip), 나노 전자 장치 (nanoelectronic devices) 및 광자 회로 (photonic circuit) 와 같은 더 복잡한 패턴에 이르기까지 샘플의 다양한 구조를 조사 할 수 있습니다. 이 장치에는 또한 데이터 획득 및 이미징 기능이 있으며, 이를 통해 빠른 측정 및 현미경 스캔이 가능합니다. 이를 통해 사용자는 전류 밀도 (current density) 와 전기적 유전율 (electrical permitivity) 과 같은 기본 전기 특성에서 광학 및 전기장의 분포와 같은 더 복잡한 매개변수 (parameter) 에 이르기까지 광범위한 매개변수를 사용하여 광범위한 이미지를 수집하고 분석 할 수 있습니다. 데이터 획득 및 이미징 외에도 VEECO NPFLEX는 여러 현미경 기법을 조합하여 3D 매핑을 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 미세한 높이 세부 (details) 를 연속적으로 이미징함으로써 웨이퍼 표면의 세부 3 차원 그림을 얻을 수 있습니다. 3D 매핑 기능은 실제 선 너비 측정, 서피스 거칠기 매핑, 높은 종횡비 이미징, 웨이퍼 변형 분석 등의 nanomanufacturing 응용 프로그램에 특히 유용합니다. 전반적으로, BRUKER NPFLEX는 고해상도 이미징 (high resolution imaging) 과 신속한 데이터 획득을 결합하여 복합 반도체 웨이퍼를 완벽하게 보여주는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 이를 통해 사용자는 웨이퍼 (wafer) 의 마이크로/나노 (micro/nano) 구조에 대한 자세한 정보와 분석을 얻을 수 있으며, 이는 복합 반도체 재료의 생산 및 연구에 관여하는 사람들에게 완벽한 도구입니다.
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