판매용 중고 ULVAC Dektak 6M #9314585
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ULVAC Dektak 6M은 다양한 산업에서 정확하고 일관된 측정을 제공하기 위해 설계된 최고의 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 시스템은 매우 정확하고 접촉하지 않은 서피스 변위 측정을 사용하여 웨이퍼의 두께 (thickness), 단계 높이 (step height) 및 기타 매개변수를 정확하게 측정합니다. 이 장치는 스테퍼 모터와 조정하는 2 개의 개별 센서를 사용하여 정확한 측정을 제공합니다. 첫 번째 "센서 '는 전자기" 센서' 로서 "센서 '를 통과 할 때" 웨이퍼' 를 둘러싼 자기장 의 변화 를 감지 하도록 설계 되었다. 이렇게 하면 기계가 서피스 변위 (surface displacement) 와 같은 작은 변경 사항을 식별하고 측정할 수 있습니다. 두 번째 "센서 '는" 웨이퍼' 표면 의 온도 변화 를 탐지 하는 적외선 "센서 '이다. 이 두 개의 센서를 함께 사용하면, 이 도구는 고정밀도, 비접촉 (non-contact) 웨이퍼를 측정 할 수 있습니다. Dektak 6M은 단계 높이, 저항성, 균일성, 필름 두께 등 다양한 웨이퍼 매개변수를 측정 할 수 있습니다. 최대 2 마이크로미터 (마이크로미터) 의 해상도를 측정 할 수있는 에셋은 파라미터에서 가장 작은 편차조차도 정확하게 감지 할 수 있습니다. 이 모델에는 분석 soir도 표준으로 제공됩니다. 분석 소어 (Analytical soir) 를 통해 장비는 모든 이상값을 자동으로 기록할 수 있으며, 사용자에게 웨이퍼 특성을 완벽하게 분석할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 사용자 친화적 인 터치 스크린 인터페이스 (touch screen interface) 를 통해 샘플 정보를 쉽게 설정하고 저장할 수 있습니다. 사용자는 각 샘플에 대한 설정을 사용자 정의할 수 있으며, 다양한 매개변수 (parameter) 를 측정할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 다른 ULVAC 장치와 함께 사용할 수 있으므로 모든 재료 테스트 (material testing) 설정의 필수 부분입니다. ULVAC Dektak 6M은 와퍼 매개변수에 대한 정확하고, 신뢰할 수있는 비 접촉 측정이 필요한 업계 전문가에게 이상적인 기계입니다. 정밀도가 높은 센서와 분석 소어 (analytical soir) 기능은 사용자가 측정이 정확한지 확인해야 하는 정확성과 신뢰성을 제공합니다. 일체형 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구로서, Dektak 6M은 모든 업계 전문가에게 적합한 선택입니다.
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