판매용 중고 TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64 #9374922

TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64는 반도체 산업에 정확하고 안정적인 데이터 및 운영을 제공하기 위해 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 테스트, 도량형, 결함 위치, 검토를 위한 포괄적인 솔루션입니다. Surfcom 590A-64는 우수한 자동 기계식 스캐닝 도량형 기능을 제공합니다. 3 개의 방향 (X, Y, Z) 으로 8 개의 개별 동작 축이 특징입니다. 이것은 ± 0.5 jm의 정확도로 정확한 웨이퍼 정렬을 허용합니다. 또한 ScanHead는 웨이퍼 위치를 긍정적으로 식별하는 X-Y 단계를 포함하여 4 개의 측정 센서로 구성됩니다. 이를 통해 기판에서 최대 8 인치의 높은 정확도 스캔 기능이 가능합니다. TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64는 광학 검사, 전기 테스트, 기계 테스트 등 다양한 웨이퍼 테스트 기능을 갖추고 있습니다. 광학 검사 기능은 고해상도 CCD 카메라를 사용하여 빠르고 정확하게 결함을 식별합니다. 다른 특징으로는 광도 변화 검출 (detection of light intensity variations) 을 통해 이물질 입자와 와퍼의 긁힘을 정확하게 찾을 수있는 기능이 있습니다. 마지막으로, 전기 테스트 기능은 전자 프로젝터 (electronic projector) 를 사용하여 접촉 패드와 흔적의 유효 저항 (effective resistance) 및 저항 분포 (resistance distribution) 와 같은 매개변수를 측정합니다. 또한 Surfcom 590A-64 에는 고급 결함 검토 장치 (Advanced Defect Review Unit) 가 포함되어 있어 Wafer 결함 정보를 빠르고 쉽게 검토하고 문서화할 수 있습니다. 이 머신은 최대 500 개의 결함 이미지와 텍스트 데이터를 저장할 수 있으며, 이미지 기록 (image history) 을 지속적으로 유지 관리하여 결함 관리를 향상시킬 수 있습니다. 또한, 이 도구는 결함의 근본 원인을 파악하고 품질 개선 방법을 자동으로 제안합니다. 전체적으로 TOKYO SEIMITSU Surfcom 590A-64는 뛰어난 자동 기계식 스캐닝 도량형 및 다양한 웨이퍼 테스트 기능을 제공하는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산입니다. Surfcom 590A-64는 반도체 산업을 지원하기 위해 신뢰할 수 있고 정확도가 높은 데이터를 제공 할 수 있습니다. 고급 결함 검토 모델은 또한 결함 관리 및 품질 향상을 보장합니다.