판매용 중고 TOKYO SEIMITSU DIAH84 #187300

TOKYO SEIMITSU DIAH84는 반도체 웨이퍼의 특성을 측정하고 분석하기 위해 설계된 고정밀 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 광학 이미징 (optical imaging) 과 도량형 (metrology) 기술의 최신 기술을 활용하여 패턴 크기와 서피스 지형을 포함한 웨이퍼의 다양한 측면을 측정합니다. 이 시스템은 광학 현미경과 통합 도량형 및 이미징 장치로 구성됩니다. 현미경은 2 개의 개별 광학 영상 및 도량형 시스템 (개방형 유형) 으로 구성되어 있으며, 이는 웨이퍼 이미지를 찍기 위해 함께 작동합니다. 두 시스템 모두 0.85 의 높은 수치 조리개와 최대 200x 의 높은 배율을 가지며, 매우 높은 정밀도 측정을 달성합니다. 내장형 도량형· 이미징 머신에는 모든 표면에 빠르고 쉽게 접근할 수 있는 로터리 (rotary) 스테이지가 장착돼 있다. 회전 단계는 위치 및 회전 속도가 정확도가 높습니다. 또한, DIAH84는 내장 레이저 간섭계를 자랑하며, 이는 두께, 표면 거칠기, 모양과 같은 광학 특성을 정확하고 정밀하게 측정 할 수 있습니다. 이 도구를 사용하면 웨이퍼 (wafer) 서피스에서 작고 복잡한 패턴의 프로파일을 쉽게 측정할 수 있습니다. 레이저 간섭계는 또한 향후 측정에 대한 높은 반복성을 보장합니다. 또한, 에셋에는 고속 이미지 처리 모듈이 포함되어 있어 정확하고 고해상도 (high-resolution) 측정값을 신속하게 얻을 수 있습니다. 사용이 간편한 GUI (Graphical User Interface) 를 통해, 이 모델은 도량형에 대한 사전 지식 없이 작동할 수 있습니다. TOKYO SEIMITSU DIAH84 (TOKYO SEIMITSU DIAH84) 는 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 강력하고 정확도가 높은 도구이며, 프로세스 제어, 문제 해결 등 다양한 연구 및 산업 응용에 적합합니다. 광섬유 (fiber-optic) 접근성을 통해, 장비는 이동하기 쉽고 다양한 제조 및 실험실 환경에서 사용할 수 있습니다. 업계 사용자에게는 매우 정확한 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 기능이 필요한 이상적인 도구입니다.