판매용 중고 THERMA-WAVE TP 400 #9309068

THERMA-WAVE TP 400은 반도체 산업을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션입니다. 최고 수준의 프로세스 제어를 위해 정확하고 반복 가능한 비접촉 (non-contact) 측정을 제공합니다. 이 장비에는 2 차원과 3 차원 모두에서 정확한 매핑을 위해 최대의 유연성을 제공하는 모듈 식 디자인이 포함되어 있습니다. 그것은 유전체 특성, 마이크로파 성능, 에지 프로파일, 평면, 도량형 및 박막 특성을 측정하기 위해 열 이미징 및 이미지 인식을 사용합니다. 75-300mm의 표준 웨이퍼 크기를 지원하며 100% 검사를 통해 전체 맵 범위를 제공합니다. 이 시스템은 임베디드 액티브 열 다단계 온도 컨트롤러 (Enbedded Active Thermal Multi-step Temperon Controller), 정밀 단계 (Precision Stage) 및 정교한 소프트웨어를 갖춘 고급 자동화 플랫폼으로 구동됩니다. 생산 환경, 서비스 라인 및 연구에서 웨이퍼 특성을 분석하는 데 사용될 수 있습니다. 이 소프트웨어는 웨이퍼 이미지와 통계 장치 보고를 실시간으로 표시합니다. 이 장치는 새로운 프로세스 노드 개발을 지원하기 위해 고해상도 커패시턴스 (capacitance) 및 저항 맵 (resistance map) 을 측정 할 수 있습니다. 또한 실패 분석 및 생산 수익률 최적화에도 유용합니다. 고해상도 이미징 기능을 통해 작은 구조와 배선의 정확한 특성화가 가능합니다. 소프트웨어 데이터 분석 툴을 사용하면 고속 이미지 로딩 (fast image loading) 및 처리 속도 (processing speed) 를 통해 대용량 제조에서 결함을 자동으로 분류할 수 있습니다. 이 기계는 멀티 레이어 피팅 (multi-layer fitting) 및 계산 알고리즘 (calcorithm) 과 같은 고급 기술을 사용하여 웨이퍼에 대한 정확한 분석을 수행합니다. 소프트웨어 제어 테스트 기능을 통해 비선형 열 프로파일 교정 (non-linear thermal profile calibration) 및 수정 (correction) 이 가능하므로 나노 전자 분야의 연구 및 개발에 적합한 선택입니다. 전반적으로 THERMA-WAVE TP400은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 안정적이고 정확한 솔루션입니다. 고해상도 이미징과 함께 강력한 분석 기능을 제공하여 품질 보증 (Quality Assurance) 및 프로세스 제어를 향상시킵니다. 강력한 자동화 플랫폼 (Automation Platform) 과 효율적인 소프트웨어 (Software) 를 갖춘 반도체 업계의 산업 및 연구 애플리케이션을 위한 완벽한 도구입니다.