판매용 중고 THERMA-WAVE TP 300 #93220

THERMA-WAVE TP 300은 다양한 웨이퍼 재료 및 프로세스의 평가를 위해 안정적이고 정확한 데이터를 제공하기 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 소프트웨어와 하드웨어가 장착되어 있어 웨이퍼 프로세스 모니터링 (Wafer Process Monitoring) 및 특성화에서 가장 높은 표준을 제공합니다. 모든 서브 필드에 걸쳐 탁월한 균일성과 가벼운 처리량을 제공하도록 설계된 강력한 LED 기반 NIR (Near-Infrared) 광원을 통해 두께, 평면도, 굴절률 등 다양한 웨이퍼 매개변수를 정확하게 측정할 수 있습니다. 이 시스템에는 단일 요소 회절 광학 요소 (DOE) 가 장착되어 있으며, 이는 가까운 가시광선 및 적외선 영역에서 매우 정확한 각도 측정을 제공 할 수 있습니다. 독보적인 설계를 통해 고해상도 데이터 (high-resolution data) 를 통해 광범위한 파장 범위에서 다양한 프로세스를 평가할 수 있습니다. TP 300은 견본 이동이 통합된 완전 자동화 장치 (Fully Automated Unit) 로서 처리량이 높고 데이터 정확도가 우수합니다. 또한 최대 24 개의 샘플 사이트에 대한 실시간 비교 측정이 가능한 실시간 다중 사이트 측정 기능을 제공합니다. 또한 통합 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 는 단순화된 제어 기능, 도량형 결과 표시, 최대 1000 개의 레시피 저장 용량 등을 통해 효율적인 작동을 지원합니다. THERMA-WAVE TP 300은 고속 정렬 기계, 깊이 센서 및 엔드 이펙터, 프로그래밍 가능한 도구 오프셋, 자동 교정 기능, 실시간 업데이트를 포함한 내장 온보드 소프트웨어 등의 추가 기능 덕분에 탁월한 성능과 안정성을 제공합니다. 기술 사양에 관하여이 도구는 최소 파장 350nm, 수치 조리개 0.15로 작동하며, 한 번의 패스에서 최대 25 개의 측정 사이트를 측정 할 수 있습니다. 또한 X-Y 단계 정확도는 10jm, 반복 성은 5m입니다. 전반적으로, TP 300 은 고급 기능 및 유연성을 제공하는 매우 정확한 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형 자산으로, 효과적인 프로세스 모니터링을 위해 제품의 품질과 안정적인 데이터를 보장합니다. 이 모델은 성능을 극대화하고 정확한 측정이 가능한 강력한 기능을 제공하여 "웨이퍼 (wafer) '제조업체에 이상적인 제품입니다.