판매용 중고 THERMA-WAVE Therma-Probe 420 #9161276

THERMA-WAVE Therma-Probe 420
ID: 9161276
Ion implanter.
THERMA-WAVE Therma-Probe 420은 다양한 반도체 재료를 검사하고 특징 지을 수있는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 유전체, 광학 및 전기 테스트 결과뿐만 아니라 웨이퍼 온도에 대한 뛰어난 제어를 제공합니다. 이 시스템은 온도 기반 온도 프로브 (thermopile-based temperature probe) 를 사용하여 빠른 열 반응 시간을 제공하여 웨이퍼 표면의 온도 측정의 정확성과 반복성을 보장합니다. 테르마-프로브 420 (Therma-Probe 420) 에 사용 된 열전도는 시장에서 가장 크며, 접촉 센서에서 초당 빠르고 정확한 24 개의 판독값을 제공합니다. 이 데이터는 웨이퍼 및 기타 객체의 온도 프로파일을 생성하는 데 사용됩니다. THERMA-WAVE Therma-Probe 420은 또한 저항, 커패시턴스, 임피던스 및 인덕턴스와 같은 적절한 RF 매개변수를 사용하여 장치를 측정하고 특성화하는 다양한 전기 성능 테스트를 제공합니다. 2 채널 DC 플랫폼을 사용하면 저전력 DC 테스트를 동시에 독립적으로 수행할 수 있습니다. 이 장치는 또한 다이 레벨 열 분석 (die-level thermal analysis) 및 트랜지스터 레벨 회로 시뮬레이션을 수행하여 장치 동작에 대한 이해 및 패키지 상호 작용을 더 잘 이해할 수 있습니다. 이 기계에는 심층적 자동/수동 결함 감지, 웨이퍼 매핑, 입자 분석 등 다양한 광 테스트 기능이 포함되어 있습니다. 또한, 이 툴은 정확하고 안정적인 프로세스 개발 및 검증을 위해 필요한 환경 관리 및 반복 기능을 제공합니다. 마지막으로 Therma-Probe 420은 모든 관련 EMI/EMC 요구 사항을 충족하도록 테스트되었습니다. THERMA-WAVE Therma-Probe 420은 다양한 반도체 재료에 걸쳐 장치 개발, 특성, 프로세스 최적화에 대해 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공 할 수 있습니다. Therma-Probe 420은 열전도, 광학 및 전기 테스트 기능에서 모든 웨이퍼 테스트, 도량형, 프로세스 개발 요구를 충족할 수 있는 성능과 유연성을 갖추고 있습니다.
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