판매용 중고 THERMA-WAVE OPTIPROBE 5240 #9111927

THERMA-WAVE OPTIPROBE 5240은 반도체 장치의 정밀 측정을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 고급 광학 이미징 플랫폼 (Optical Imaging Platform) 을 통해 컨택트/본드 패드의 정확한 측정 및 웨이퍼 수준 평가를위한 높은 처리량을 제공할 수 있습니다. 이 시스템은 서브 미크론 해상도 (sub-micron resolution) 와 정밀도 (precision) 를 제공하여 파괴적이지 않은 테스트와 중요한 장치 특성에 대한 정확한 분석을 가능하게 합니다. 이 장치는 고급 3D 스캐닝 (advanced 3D scanning) 기술을 사용하여 웨이퍼 서피스에서 자세한 정보를 수집할 수 있으며, 이를 통해 본드 패드 높이 (bond pad height), 지름 (diameter), 접촉 저항 (contact resistance) 과 같은 임계 치수를 정확하게 측정할 수 있습니다. 또한, 기계는 노출에 대한 웨이퍼를 줄이기 위해 반향 방지 코팅 기술을 가지고 있으며, 이는 정확하고 반복 가능한 결과를 초래합니다. OPTIPROBE 5240에는 게이트 두께, 게이트 깊이, 접촉 크기, 접촉 금속화, 장치 마스크 정렬, 기타 중요한 매개변수와 같은 중요한 장치 매개변수를 측정할 수 있는 고해상도 디지털 이미징 도구가 장착되어 있습니다. 에셋은 또한 바늘 추적 (needle trace), 공백 (voids) 및 기타 높은 종횡비 (aspect ratio) 결함과 같은 웨이퍼의 심각한 결함을 식별 할 수 있습니다. THERMA-WAVE OPTIPROBE 5240 모델에는 종합적인 도량형 소프트웨어 패키지가 장착되어 있으며, 이를 통해 라인 스캔, 파노라마 및 3D 이미징을 수행할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 색상 코드 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 도 포함되어 있으므로 측정 결과를 신속하게 파악하고 분석 할 수 있습니다. 이 장비에는 자동 튜닝 (Automatic Tuning) 기능도 장착되어 있어 운영 라인 테스트 설정과 손쉽게 통합할 수 있습니다. 또한 OPTIPROBE 5240 (OPTIPROBE 5240) 은 빠르고 정확한 스캐닝을 위한 고효율 모터와 최적의 이미징을 위한 자동 초점 기능을 갖추고 있습니다. 이 시스템에는 데이터 획득 속도 (Data Acquisition Speed), 이미지 조정 옵션 (Image Calibration Options) 등 다양한 사용자 정의 가능한 설정도 포함되어 있습니다. 이 장치는 다운타임 최소화, 머신 비용 절감, 정확하고 반복 가능한 측정값을 만들 수 있습니다. 또한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 진단 출력 (diagnostic output) 이 있어 대용량 볼륨 생산에 이상적입니다.