판매용 중고 THERMA-WAVE OPTIPROBE 5220I #9171337

THERMA-WAVE OPTIPROBE 5220I
ID: 9171337
Film thickness measurement system.
THERMA-WAVE OPTIPROBE 5220I는 온도학, 광학 이미징, 반사계, 표면 정전용량 등 최첨단 기술을 결합하여 웨이퍼 특성을 정확하고 빠르게 측정하는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 평면도, 균일성, 두께, 반사율, 지형 및 정전용량에 대한 신뢰할 수있는 측정을 제공하며, 이는 칩 제조 공정의 필수 요소입니다. OPTIPROBE 5220I는 고정밀도 다기능 장치로, 얇고 두꺼운 웨이퍼를 신속하게 측정할 수 있습니다. 이 기계는 다중 좌표 모터 제어 장치 (multi-coordinate motor control unit) 를 사용하여 1 미크론의 정밀도까지 얇고 두꺼운 웨이퍼를 정확하게 측정합니다. 또한 고해상도 광학 현미경 (optical microscopy) 도구는 3차원 이미지를 제공하여 지형 및 광학 특성을 정확도로 보고 분석 할 수 있습니다. 이 자산은 또한 적외선 이미징 및 기술을 사용하여 웨이퍼 및 칩의 열 데이터 포인트를 캡처하는 THERMA-WAVE 특허 열학 모델을 갖추고 있습니다. 이 데이터는 표면 편평도, 변형, 얇음 등의 열 특성을 정확하게 측정하는 데 사용됩니다. 이 장비는 또한 열적으로 또는 광학적으로 유도 된 기능의 프로파일링과 마이크로 결함 탐지 (detection of micro defects) 를 허용합니다. THERMA-WAVE OPTIPROBE 5220I는 최고 성능과 정확도를 제공하는 완벽한 시스템입니다. 빠른 보정, 정확한 웨이퍼 척 (wafer chuck) 제어, 자동 두께 조정을위한 빠른 변경 모듈, 키 측정을 문서화하는 여러 보고서 형식의 데이터 로깅 장치 (data logging unit) 등이 포함되어 있습니다. 고급 기능을 갖춘 OPTIPROBE 5220I는 웨이퍼 속성을 테스트하고 분석하는 데 이상적인 솔루션입니다. 또한, 이 시스템의 통합 소프트웨어 (Integrated Software) 를 사용하면 작업을 쉽게 수행할 수 있으며, 따라서 사용자는 자신의 프로세스에 필요한 데이터를 신속하게 액세스할 수 있습니다. 이 도구는 웨이퍼 테스트 (wafer testing) 와 도량형 (metrology) 에서 일관되고 뛰어난 결과를 얻을 수 있는 강력하고 안정적인 도구입니다.
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