익숙한 THERMA-WAVE OPTIPROBE 5205 판매용

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ID#: 62641

제조사:

THERMA-WAVE

모델:

OPTIPROBE 5205

포도 수확:

2001

웨이퍼 크기:

8"

장비 세부 정보:

Thin film measurement system, 8" Process Type: Single Wafer CE Marked Cassette Interface: 2 Asyst SMIF Loadports Wafer Handler Type: Puck PRI Robot – Single Blade Measurement Techniques: Beam Profile Reflectometer Beam Profile Ellipsometer Deep Ultra-Violet Reflectance Ionizer in Mini-environment (MENV) OS Software: Win XP Application SW: TFMS-XP V3.2R1 SR-0 P6 HF2 V 100-120 / 200-240, A 20, Single Phase, Freq 50 / 60Hz 2001 vintage.
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