판매용 중고 THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 DUV #9168988
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ID: 9168988
빈티지: 1997
Thin film measurement system
Open cassette for 6/8 application
Upgraded from OP3260DUV
Non-Cu process
Vacuum handling
1997 vintage.
THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 DUV는 최첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 도구입니다. 도량형, 특성, 실패 분석, 라인 에지 거칠기 측정, 스크라이브 라인 테스트 등 다양한 응용 프로그램에 사용됩니다. THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290DUV는 표면 거칠기, 입자 오염 및 스텝 높이 불규칙성과 같은 미크론 레벨 표면 이상을 감지 할 수 있습니다. OPTIPROBE 3290 DUV는 DUV (Deep Ultraviolet) 간섭법 및 편광 분석의 조합을 사용하여 웨이퍼의 표면 특성을 평가합니다. OPTIPROBE 3290DUV에는 깊은 자외선 레이저 시스템이 장착되어 있는데, 이 시스템은 광학 소음 수준이 낮은 매우 일관성 있고 집중된 빔을 방출합니다. 또한, 검출 범위는 < 0.2 "m '에서 3" m' 이며 레이저 이미지의 확대 범위는 40 "m '보다 큽니다. DUV 레이저 시스템과 편광 분석의 조합으로 THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 DUV가 웨이퍼의 표면 온도를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 따라서 THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290DUV는 정밀 온도 매핑 및 이미징에 이상적인 도구입니다. 이것은 테스트 된 기질의 안정성을 결정하는 데 중요한 역할을합니다. OPTIPROBE 3290 DUV에는 통합 소프트웨어 패키지도 함께 제공됩니다. 이 소프트웨어에는 효율적인 데이터 수집 및 분석을 위한 다양한 분석 툴이 포함되어 있습니다. 또한 강력한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 통해 측정 결과를 손쉽게 시각화할 수 있습니다. OPTIPROBE 3290DUV는 인체 공학적으로 설계되었으며 소형 폼 팩터로 제공됩니다. 따라서, 액세스가 제한된 빈 공간과 환경에 설치하는 데 적합합니다. 사용자 친화적인 설계로 설치 및 유지 보수가 용이합니다. 전반적으로 THERMA-WAVE OPTIPROBE 3290 DUV는 시장에서 가장 발전된 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템 중 하나입니다. 다양한 애플리케이션에 대해 안정적이고 정확한 결과를 제공합니다. 미크론 레벨 표면 이상을 측정하는 능력은 특히 정확하고 상세한 분석에 적합합니다.
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