판매용 중고 THERMA-WAVE OPTIPROBE 2690 #293824685
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THERMA-WAVE OPTIPROBE 2690은 반도체 장치 검사 및 프로세스 모니터링을 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 시스템은 OEP (optical-electrical probe unit) 와 TWS (Thermal Wave unit) 의 두 부분으로 구성됩니다. OEP는 5 m에서 10 mm 범위의 비 접촉 전기 측정을위한 매우 민감한 광학 전기 프로브로 구성됩니다. TWS 는 신속한 온도 상승 또는 열파 (thermal wave) 측정을 제공하여 IC (integrated circuit) 가 제대로 작동하는지 확인할 수 있습니다. OEP는 긴 거리 목표를 가진 CCD 카메라를 사용하여 웨이퍼의 광학 및 전기 특성을 모두 측정합니다. 다이오드 레이저 (diode laser) 는 OEP와 결합하여 전기 저항을 측정하는 데 사용되며, IC 및 유전체 층의 광학 검사도 수행 할 수 있습니다. 이 매우 민감하고 견고한 기계는 비아 (vias), 깨진 결합 (cracked bonds), 반바지 (shorts) 와 같은 잠재적 IC 실패를 몇 초 안에 감지 할 수 있습니다. OPTIPROBE 2690에는 열 파 (Thermal Wave) 도구가 있습니다. 이 도구는 펄스 레이저를 사용하여 웨이퍼의 온도 상승을 유도하고 광학 신호를 측정합니다. 이 자산은 핫스팟, 누출, 반바지, 납북 품질 저하 등 다양한 유형의 IC 결함을 감지 할 수 있습니다. 정확하고 안정적인 측정을 위해 다양한 센서 및 신호 컨디셔닝 (signal conditioning) 구성 요소가 TWS에 통합됩니다. THERMA-WAVE OPTIPROBE 2690 은 디바이스 성능 분석, 프로세스 모니터링 및 평가에 이상적인 솔루션입니다. IC와 웨이퍼 (wafer) 에서 다양한 유형의 전기, 물리적, 기계적 장애를 감지할 수 있는 효율적이고 비용 효율적인 비침습적 (non-invasive) 테스트 솔루션입니다. 또한 자동화된 운영 (Automated Operation) 을 통해 빠르고 일관성 있는 테스트 프로세스를 통해 사람의 오류 가능성을 없앨 수 있습니다.
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