판매용 중고 THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B #9105608
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ID: 9105608
웨이퍼 크기: 8"
Film thickness measurement system, 8"
Fan: Clean Air Products P/N: CAP109BH
(1) Diffuser, Large
(1) Diffuser, Small
(2) Monitors
Printer, P/N: P-90W
(1) AC Power Conditioner, P/N: 012-007
(1) Monitor Chase Video
(1) Brooks PRI Robot
Input: 1Ø, 110V, 50/60Hz, 7.5/10A.
THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600B는 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 프로세스의 웨이퍼 품질 및 균일성을 신속하게 측정하기 위해 설계되었습니다. 고급 광전자 센서와 스캐닝/이미징 광학 (scanning/imaging optics) 을 결합하면 웨이퍼 특성에서 가장 작은 불일치까지도 감지 할 수 있습니다. Optiprobe 26000B의 주요 특징은 다음과 같습니다. 최대 1.3äm 해상도의 정확하고 반복 가능한 광학 측정, 비접촉 적외선 이미징, 온라인 실시간 프로세스 피드백 등이 있습니다. 이산화탄소 또는 YAG 레이저 조명 광학을 사용하여 RMS, 표면 거칠기, 평평 및 임계 치수를 측정합니다. 이 장치는 웨이퍼, 결함 적용 범위 백분율 및 무효 수준의 위치를 정확하게 측정 할 수 있습니다. Optiprobe 26000B의 고급 입자 감지 시스템 (Advanced Particle Detection Machine) 은 웨이퍼의 입자 수를 정확하게 측정하여 최적의 웨이퍼 품질과 표면 성능을 보장합니다. THERMA-WAVE OPTI-PROBE 2600-B는 반도체 제작 시장을 위해 설계되었으며, 처리된 모든 웨이퍼 특성 워크스테이션에 이상적인 추가 기능입니다. 기존 테스트 및 프로세스 제어 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 원격 진단 (Remote Diagnostic) 기능을 통해 문제 해결 및 복구를 동시에 수행할 수 있으므로 다운타임을 최소화하고 실험실의 생산성을 극대화할 수 있습니다. 이 도구는 LINUX 및 UNIX 운영 자산에서 실행되며 Windows 및 Macintosh 환경을 지원합니다. 업그레이드 가능한 소프트웨어를 통해 기존 시스템과 손쉽게 맞춤 구성하고 통합할 수 있으며, 다양한 타사 하드웨어/소프트웨어 구성요소를 지원합니다 (영문). 또한 개방형 아키텍처를 통해 Windows NT, Alpha, LabView와 같은 여러 프로세스 제어 시스템을 쉽게 통합할 수 있습니다. OPTI-PROBE 2600 B는 안정적이고 정확한 웨이퍼 테스트 및 도량형을 찾는 모든 칩 제조업체에 적합한 솔루션입니다. 견고한 디자인과 기능으로 인해 웨이퍼 제작에 필수적인 도구입니다.
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