판매용 중고 TFM TFM-100 #9252380
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ID: 9252380
Coating and thin film thickness analyzer
Thickness range: 0.5 - 100 um
Wavelength range: 350 - 1,050 nm
Spot size: Approximately 4 mm
Repeatability (x10): < ±0.001 um at 1 um SiO2 on Si wafer
Light source: Tungsten halogen 1-6 W
Sample stage: 20 x 20 cm
Dimensions:
Detector: 22 x 22 x 7 cm
Light source: 12 x 17 x 5 cm
Scope: 20 x 20 x 17 cm
Power supply: 12 V, 1 A.
TFM TFM-100은 TFM Corporation에서 설계 및 제조 한 로봇 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼의 물리적 특성 (예: 평면 및 구형 서피스의 치수, 반지름) 및 사이트 특정 결함 (site specific defectivity) 과 같은 다른 매개변수를 효율적으로 측정하고 분석 할 수 있습니다. TFM-100은 메인프레임, 검사 헤드 유닛, 소프트웨어의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 메인 프레임의 높이는 44 인치이며 알루미늄 및 복합 플라스틱 구조로 만들어집니다. 프레임리스 (frameless) 컴팩트한 설계는 장치 내부 구성 요소에 대한 안전한 숙박 시설을 제공하는 데 도움이됩니다. 검사 헤드 유닛은 10 나노 미터 해상도의 2 차원 공기 베어링 인코더로, 빠른 진동이없는 스캔을 허용합니다. 또한, 시스템은 수동 (manual) 모드와 자동 (automatic) 모드 모두에서 작동하며, 이를 통해 사용자는 해당 기능과 정밀도를 적절하게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 도구에는 여러 가지 소프트웨어 옵션도 있습니다. 검사 소프트웨어 제품군 (Inspection Software Suite) 에는 40 개가 넘는 응용 프로그램이 있으며, 각 응용 프로그램은 웨이퍼에 대한 자세한 분석을 위해 적절한 물리적 특성 및 결함을 측정하고 분석하는 데 특화되어 있습니다. 또한 Suite 는 결함 감지 (defect detection), 이중 플로팅 (double plotting), 사용자 정의 경고 (user-defined alarm) 등의 고유한 테스트 기능을 통해 잠재적인 문제를 신속하고 정확하게 감지할 수 있습니다. 또한 TFM TFM-100은 ZAxis 2000 컨트롤러를 사용하며 고속 패턴 생성기 TMS-146으로 최적화합니다. 이 조합을 통해 TFM-100은 다른 재료를 빠르게 분석하고 기하학적 모양을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 자산에는 부피가 큰 경로와 게이지가 필요하지 않습니다. 즉, 이 게이지는 기계식 벤치에 직접 장착되어 있어 귀중한 자원과 공간을 절약할 수 있습니다. 메인프레임은 최대 5 개의 웨이퍼를 수용할 수 있으므로 TFM TFM-100 (TFM TFM-100) 을 여러 웨이퍼 테스트에 사용할 수 있으며, 이를 신속하게 스캔하고 분석할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 장비와 웨이퍼가 모두 손상되지 않도록 보호하기 위한 여러 기능이 장착되어 있습니다 (영문). 또한 장애 감지 (fault detection) 및 진단 (diagnostic) 기능을 갖추고 있으므로 잠재적인 문제를 신속하고 효과적으로 해결할 수 있습니다. TFM-100 (TFM-100) 은 전 세계 실험실에서 테스트, 검사되었으므로 효율적이고 안정적인 가치를 제공합니다. 정확성, 안정성, 견고한 설계로 인해 TFM TFM-100은 웨이퍼를 측정, 분석하는 데 이상적인 솔루션입니다.
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