판매용 중고 TECHNOS SMAT-200 #293642840
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TECHNOS SMAT-200은 반도체 웨이퍼의 두께와 평탄도를 측정하기 위해 특별히 설계된 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 고급 이미징 및 스캔 기술과 즉석 광학 도량형 (on-the-fly optical metrology) 을 결합하여 빠르고 정확하게 측정합니다. 최첨단 이미지 획득 장치 (State-of-the-art Image Acquisition Unit) 를 통해 최대 25 마이크로미터 두께의 웨이퍼 고해상도 이미지를 캡처할 수 있습니다. 고속 카메라 및 스캔 헤드는 최대 800배, 동적 범위는 최대 800: 1입니다. 또한 SMAT-200에는 고정밀 스캐닝 슬릿 (scanning slit), CCD 어레이 센서 및 초점 레이저 다이오드가 장착되어 있어 측정 정밀도와 정확도가 뛰어납니다. 기계 (Machine) 는 광학 및 레이저 도량형 기술을 활용하여 최고 수준의 정확도로 프로파일, 활 및 워퍼 표면의 워프 (warp) 를 측정합니다. 이 도구는 각각 최대 6 마이크로미터, 0.1 마이크로미터 이하의 향상된 데이터 샘플링 및 해상도를 제공합니다. 또한 웨이퍼 워 페이지 (wafer warpage), 활 (bow), 평면도 (flatness) 를 자동으로 계산하기 위한 고급 알고리즘이 포함되어 표면 지형의 최적의 특성화가 가능합니다. 또한, 자산에는 측정 결과를 분석 할 수있는 데이터 기록 (Data Recording) 및 분석 (Analysis) 기능이 포함되어 있습니다. TECHNOS SMAT-200은 빠른 가장자리 감지, 해상도 향상, 자동 드리프트 보상 등 여러 가지 고급 기능을 제공합니다. 이를 통해 모델이 가혹한 작동 조건에서도 정확한 측정을 제공할 수 있습니다. 또한, 광범위한 웨이퍼 도량형 애플리케이션을위한 종합적인 측정 기술 라이브러리 (Library of measurement Technical) 가 제공됩니다. 이 모든 기능을 통해 SMAT-200 은 효율적이고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 테스트 및 도량형 장비를 찾는 반도체 제조업체와 생산 시설에 이상적인 선택이 됩니다.
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