판매용 중고 TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO #9012955
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ID: 9012955
Profilometer
Parameters: Ra
Traverse speeds: 1mm/s for measurement, 0.25mm/s for recording
Measurement ranges: 0-9.99 and 0-25μm, 0-999 μin Ra
Readout: Digital; liquid crystal display
cut-off values: 0.25, 0.8, 2.5 mm (0.01, 0.03, 0.1 inch) 0.8mm(0.03inch) over the full 25mm (0.98inch) traverse
Height of digits: approx. 6.5mm (0.25 inches)
Standard traverse lengths: Nominally 5X selected cut off + 0.5mm i.e. 1.75, 4.5, 13mm
Display: Four digits, decimal ("E") and measuring sign (---)
Output for recording: 10mV/μm on 99.9μm range
100mV/μm on 9.99μm range 1mV/μin on 999μin range
Minimum load impedance for recorder output: 10k
*Overall accuracy of Ry (RmaxDIN) & Rtm (RzDIN) measurement: To within 2% of reading +/- 1 unit in the least significant decimal.
TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO는 웨이퍼 표면을 정확하게 측정하고 검사하기 위해 개발 된 자동 3D 표면 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 수동 및 자동 작동을 위해 커패시턴스 변위 센서를 사용하는 gantry 기반, CNC 제어 표면 프로파일러입니다. 연구, 개발 및 생산 실험실을 위해 특별히 설계되었습니다. Surtronic 3 CPO의 주요 하드웨어 구성 요소는 선형 변위 측정 장치, 가변 속도 스캔 기능, 1,250mm x 1,250mm 스테이지 (예: 트래버스 영역) 및 1,200mm 높이의 z축 이동으로 구성됩니다. 또한 샘플 정렬 및 반복성을 위해 1 축, 3 축 및 5 축 자동 기능을 제공합니다. 또한, 통합 스테이지 인코더와 움직이는 LED 광원이 측정 반복 가능성과 향상된 기능 검사를 위해 장착됩니다. 특정 샘플 디스플레이를 사용하면 평면 (Flatness), 범프 높이 (Bump Height), 코러게이션 (Corrugations) 및 웨이브 길이 (Wave Length) 와 같은 다른 서피스 특성을 비롯하여 서피스 프로파일과 중요한 피쳐 정보를 볼 수 있습니다. TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO는 X, Y, Z 축 방향의 프로파일, 서피스 스캔 또는 웨이퍼 측정으로 측정 할 수 있습니다. 또한, 기계는 총 TSFE (Surface Form Error) 또는 TIR (Total Runout) 을 측정하고 결과를 2D 그래프 또는 3D 서피스 매핑의 레이아웃으로 표시할 수 있습니다. 또한 Surtronic 3 CPO의 고급 소프트웨어는 자동 보고 및 데이터 분석을 용이하게하여 연구, 생산 및 품질 보증 (Quality Assurance) 애플리케이션에 적합합니다. 작동 측면에서 TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO는 최대 15m까지 높은 정밀 선형 정확도를 가지며 다양한 샘플 및 프로브 설정으로 작동 할 수 있습니다. 또한, 고해상도 다중 채널 레이저 라인 삼각 측량 센서 (multi-channel laser line triangulation sensor) 가 통합되어 특허받은 기술 라인 스캐닝 방식과 결합하여 표면 피쳐를 매우 정확도로 측정합니다. 환경 보호 강화를위한 서트로닉 3 (Surtronic 3) CPO는 밀봉, 건조 측정 챔버 및 지속적인 피드백 제어 메커니즘을 사용하여 축 공기 습도 및 온도 수준을 유지합니다. 전반적으로 TAYLOR HOBSON Surtronic 3 CPO는 연구, 개발 및 제조 운영 전반에 걸쳐 웨이퍼 테스트 및 도량형 운영에 적합합니다. 이 도구는 광범위한 기능을 갖추고 있으며, 설치가 쉽고, 측정이 정확하며, 반복성과 안정성이 뛰어납니다.
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