판매용 중고 TAMAR Waferscan 300 #293636438

TAMAR Waferscan 300은 프로덕션 환경을 위해 설계된 종합적인 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 반도체 웨이퍼를 측정 및 분석 할 때 높은 정밀도와 정확도를 제공합니다. 고해상도 스캐닝 (scanning) 단계를 통해 장치 미세 구조를 검사하기 위한 고해상도 광학 시스템뿐만 아니라 지느러미 너비 (fin width), 게이트 길이 (gate length) 등 작은 기하학적 기능을 정확하게 캡처할 수 있습니다. 이 장치 에는 "웨이퍼 '표면 의 정확 한 측정 을 하는, 신뢰성 이 높고 정확 한" 레이저' 간섭계 가 들어 있다. 고급 이미지 처리 (advanced image processing) 알고리즘과의 통합을 통해 웨이퍼 서피스의 지형을 정확하게 분석하고 측정합니다. 자동 탐지 (automated detection) 알고리즘은 표면의 레이저 산란으로 인한 측정 오류 또는 데이터 포인트의 잠재적 오류를 감지하여 정확도를 더욱 향상시킵니다. 타마르 (TAMAR) 머신은 동력 광학 줌 (optical zoom) 을 사용하여 다른 영역을 관찰하고 분석하기 위해 광학 공구의 배율을 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한 매우 높은 정확도로 이미지를 캡처하는 고품질 CCD 카메라가 특징입니다. 또한 이 에셋에는 다목적 모니터 (Multi-Purpose Monitor) 가 포함되어 있어 측정 결과와 이미지 분석 결과를 검토할 수 있습니다. Waferscan 300 은 i-line 및 KrF 필름을 검사하는 기능을 추가로 제공하며, 디바이스 레이어의 두께를 측정할 수 있습니다. 또한, 모델은 photoresist 두께 측정을 정확하게 분석하여 사용자가 치수 (dimensionality) 와 피쳐 해상도가 공차 내에 있는지 확인할 수 있습니다. 자동화된 광 정렬 (Optical Alignment) 절차를 통해 사용자는 손쉽고 정확한 방법으로 장비의 광 (Optic) 을 신속하게 정렬할 수 있습니다. 이 정밀 정렬 (precision alignment) 기능은 프로덕션 환경에서 매우 유용합니다. 즉, 가능한 한 짧은 시간 내에 정확한 결과를 보장합니다. 이 시스템은 또한 웨이퍼 (wafer) 표면의 평탄도를 측정할 수 있으므로 디바이스의 품질에 영향을 미치는 잠재적인 문제를 정확하게 파악하고 해결할 수 있습니다. 마지막으로, 이 장치는 데이터 분석 툴과 보고 기능의 배열 (array of data analysis tools and reporting) 을 제공하여 사용자가 신속하게 통계 데이터를 추출하고 신속하게 의사 결정을 내릴 수 있도록 합니다.